Алюминий нитриді (AlN) керамикалық электростатикалық патрон

1.Артықшылықтары

• Жылу өткізгіштігі ~180 Вт/м·К дейінгі жоғары таза AlN керамика тиімді жылу беру және температура біркелкілігі үшін

• Күшті электрлік оқшаулау және 1–3 кВ тұрақты қысқышты қолдайтын жоғары көлемдік кедергі (жоғары кернеулер бар)

• Арнайы диэлектрлік қабат материалдары және электродтардың орналасулары: Кулон немесе Джонсен-Рахбек (JR); бір немесе көп аймақ

• Жылдам қысқыш және ажыратқыш өнімділігі, әдетте 0,1 секундтан аз

• Беттік шұңқырдың микроқұрылымдары диаметрі ~300 мкм-ге дейін төмендейді, бұл байланыс аймағын ~1% дейін азайтады

• Жоғары тегістік мүмкіндігі; 300 мм класты платформалар үшін 0,5–3 мкм PV тәртібі бойынша әдеттегі жаһандық тегістік

• Нөлге жақын суды сіңіретін және технологиялық орталар үшін жақсы химиялық төзімділігі бар тығыз микроқұрылым

2.Типтік қолданбалар

Алюминий нитриді керамикалық электростатикалық патрондар пластинаны қауіпсіз ұстауды және бақыланатын термиялық әрекетті қажет ететін технологиялық қадамдарда қолданылады:

• Құрғақ плазмалық өңдеу (ICP / RIE) және оған қатысты камералық процестер

• CVD, PEALD, термиялық ALD және басқа жұқа қабықша тұндыру кезеңдері

• Біркелкі пластинаның температурасын талап ететін күйдіру және термиялық процесс модульдері

• Инспекция, метрология және дәлдік кезеңдері, онда аз бөлшектер мен тұрақты қысу маңызды

3.AlN Материалдық бағалары – Типтік қасиеттер

VeTek жылу өткізгіштігін, механикалық беріктігін және ESC конструкцияларының құнын теңестіру үшін бірнеше алюминий нитриді сорттарын ұсынады:

Бірліктер: Жылу өткізгіштік Вт/(м·К); кВ/мм-дегі диэлектрлік беріктік; көлем кедергісі Ω·см (25 °C); 1 МГц жиіліктегі диэлектрлік тұрақты. Мәндер типтік және процесс пен бөлік геометриясына байланысты өзгеруі мүмкін.

4.Әдеттегі ESC дизайн параметрлері

5.Неге ЧоуVeTek AlN электростатикалық патрондар?

VeTek Semiconductor компаниясы термиялық өнімділікті де, сенімді қысқышты да қажет ететін жартылай өткізгіш тұтынушыларға арналған дәлдікпен ESC өндірісімен жетілдірілген AlN керамикасын біріктіреді:

• Жылу өткізгіштігі ~90-нан ~180 Вт/м·К дейін болатын бірнеше AlN сорттары технологиялық жылу бюджеттеріне сәйкес келеді.

• Кулон немесе JR қысқыш әрекетіне арналған икемді электрод және диэлектрлік дизайн

• Тегістігін, бетінің микроқұрылымын және электрлік оқшаулау өнімділігін қатаң бақылау

• Толық өмірлік циклді қолдау: дизайн, жаңа құрылыс және көп деңгейлі жөндеу

Біркелкі пластинаның температурасына және таза, қайталанатын қысқышқа тәуелді сызу, тұндыру және термиялық құралдар үшін VeTek алюминий нитриді керамикалық электростатикалық патрондар қолданбалы инженерлік қолдаумен қамтамасыз етілген жоғары өнімді керамикалық платформаны қамтамасыз етеді.