Кеуекті Sic Ceramic Chucks

Ветексемикон ұсынған кеуекті ең керамикалық крактар жоғары тазалығы кеуекті кремний карбидінен (SIC) жасалады, бұл керамикалық чак, бұл газдың бірыңғай ағынын, керемет тегістігін және жоғары вакуумдық және температура жағдайында жылу тұрақтылығын қамтамасыз етеді. Бұл вакуумды қысқыш жүйелер үшін өте ыңғайлы, онда байланыссыз, бөлшектерсіз вафлиді өңдеу өте маңызды.

Ⅰ. Негізгі материалдық қасиеттері және нәтижелер

1. Тамаша жылу өткізгіштік және температураның төзімділігі

Кремний карбиді жоғары жылу өткізгіштікті ұсынады (120-200 Вт / м.) Және 1600 ° C-тан жоғары температураны ұсынады және Chuck-ті плазмалық ионын өңдеуге, ион сәулесін өңдеуге және жоғары температуралы тұндыру процестеріне итермелейді.

Рөлі: біркелкі жылуды таратуды, вафлиді азайтуды және процестердің біркелкілігін арттыруды қамтамасыз етеді.

2. Жоғары механикалық беріктік пен тозуға төзімділік

SIC тығыз микроқұрылымы chuck ерекше қаттылығына (> 2000 г.В.) және механикалық беріктік береді, вафлиді жүктеу / түсіру циклдері мен қатал процессорлар үшін қажет механикалық беріктік.

Рөл: өлшемді тұрақтылық пен беттің дәлдігін сақтау кезінде Чактың өмір сүру ұзақтығын ұзартады.

3. Біркелкі вакуумды таратудың бақыланатын кеуектілігі

Керамиканың керемет кеуекті құрылымы вафли бетіне тұрақты соруды вакуумды соруға мүмкіндік береді, вафлидің вафлиді минималды бөлшектердің ластануымен қамтамасыз етеді.

Рөл: Тазартқыштың үйлесімділігін арттырады және вафли зақымдамын қамтамасыз етеді.

4. Жақсы химиялық тұрақтылық

SIC коррозиялық газдар мен плазмалық орталарға инерттілігі реактивті ионы немесе химиялық тазалау кезінде деградациядан қорғайды.

Рөл: жұмыс уақытын азайту, пайдалану құнын төмендетеді.

Ⅱ. Ветексемиконның теңшелімі және қолдау қызметі

Ветексемиконда біз жартылай өткізгіш өндірушілердің талап етілетін талаптарын қанағаттандыру үшін толыққанды қызметтерді ұсынамыз:

● Жеке геометрия және кеуек өлшемінің дизайны: Біз әр түрлі өлшемдерде, қалыңдығы мен тістері тығыздықтары сіздің жабдықтың техникалық сипаттамаларына және вакуумдық талаптарға теңдесеміз.

● Жылдам жөндеу прототипі: R & D және пилоттық желілерге арналған ең қысқа уақыт және төмен MOQ өндірісі.

● Сатудан кейінгі сенімді қызмет: Орнату нұсқаулығынан өмірлік цикл мониторингінен біз ұзақ мерзімді тұрақтылық пен техникалық қолдауды қамтамасыз етеміз.

Ⅲ. Қолданбалар

● плазмалық өңдеу жабдықтары

● Ионды имплантация және тазарту камералары

● Химиялық механикалық жылтырату (CMP) жүйелері

● Метрология және инспекциялық платформалар

● Технологиялық бөлмелердегі вакуумдық және қысқыш жүйелер

Vakekemeicon өнімдері дүкені: