Жоғары тазалық кварц вафли қайықтары

VeTek Semiconductor компаниясының жоғары тазалықтағы кварцты вафельді қайығы төмен гидроксилді, жоғары тазалықты және күшті жоғары температураға төзімділік сипаттамаларына ие ультра жоғары тазалықтағы кварцтан жасалған. Бұл материал сонымен қатар жартылай өткізгіш өнеркәсібінде диффузиялық пештер мен CVD пешінің құрамдас бөліктеріне арналған материал ретінде кеңінен қолданылады. Кремний пластинкаларын тасымалдауға арналған контейнер ретінде жоғары тазалықтағы кварц қайық пластинасы жартылай өткізгіш, фотоэлектрлік, химиялық және басқа салаларда қолданылған.

Қолдану сценарийлері

Біріншіден, жартылай өткізгіш өрісі. Вафлюстардың жылу өңдеу процесі, термиялық тотығу, диффузия, таралу және т.б. термиялық өңдеу процесі өте маңызды.

Пакеттік пештің негізгі түтіктері жартылай өткізгіштік вафли үшін, мысалы, термалды тотығу, жоғары температура диффузиясы, емделу және жұқа пленкалар сияқты. Пакеттік жылыту пеші әдетте пештің корпусын жылу өңдеуді аяқтау үшін катушкалармен жылыту үшін қолданылады. Әр түрлі жұмыс құрылымдары бойынша пеш пешінің негізгі түтіктерін көлденең пештер мен тік пештерге бөлуге болады:

(1) Көлденең пешінің Quarte вафли кеме көлденеңінен орналастырылған, сондықтан оны көлденең печенье деп атайды.

Термиялық өңдеу процесінде вафли жоғары тазалықтағы кварцты вафли қайығына жүктеледі, баяу кварц пешінің түтігіне жіберіледі және вафли өңдеу үшін тұрақты температура аймағына орналастырылады. Процестің аяқталуын күткеннен кейін, вафли пайдаланылған кварц қайығы температураның кенет өзгеруіне байланысты пластинаның зақымдануын болдырмау үшін кварц пешінен баяу шығарылады. Көлденең пештер пластинаның диаметрі 200 мм-ден аз интегралды схемалардың диффузиялық процесінде кеңінен қолданылады. 

Көлденең пештердің артықшылықтары қарапайым процесс, пластиналар арасындағы жақсы біркелкі және бір уақытта бірнеше пластинаны өңдеу мүмкіндігі. Кемшіліктері - баяу қыздыру жылдамдығы, жабдықтың үлкен көлемі, автоматтандырудың қиындығы, пластиналарды тиеу және түсіру кезінде сыртқы ауаның оңай енуі.

(2)Тік пештің тазалығы жоғары кварц вафли қайығы тігінен орналастырылған, сондықтан ол тік пеш деп аталады.

Вафер кварц мұнарасына тиелген және жылытуға арналған кварц пешінің түтігіне баяу көтеріледі. Жылу процесінде, Quartz вафлидің жоғары қайықтары вафлидің біркелкі жылытылатынын қамтамасыз ету үшін баяу бұрылады. Өңдеуден кейін кварц мұнарасы вафли зардап шеккен температураның өзгеруіне жол бермеу үшін баяу түседі. Тік пештер негізінен 200 мм және 300 мм диаметрі диаметрі 300 мм-дің интегралды ауданында қолданылады. Тік пештердің негізгі технологиясы жоғары дәлдіктегі температура өрісін, бөлшектерді басқару, микро-экологиялық микроэлемен, микро-оттегінің бақылауында және мотоциттерде жатыр. Тік пештердің артықшылығы - жұқа табиғи оксид қабаты, жақсы біркелкілік, оңай автоматтандыру, аздап жабдықтың ізі және партиялық өңдеу. Кемшілігі - қыздыру жылдамдығы баяу.

Фотоэлектрлік өрісте фотоэлектрлік жасушалардың өндірістік процесі кварцтық қайықтарды кремнийді вафлиді жоғары температурада тарату және тасымалдауды қажет етеді. Жоғары температуралы азот, оттегі немесе басқа инертті газбен, мысалы, фосфор диффузиясы немесе бор диффузиясы, мысалы, күн батареяларының өндірістік процесінде маңызды қадам. Мақсаты - кремний вафлиінде PN түйісуін қалыптастыру.

Кварцтық қайық кремний вафлиінің жоғары температуралы диффузиялық процесті сақтап қалуын қамтамасыз ету үшін дәл жобаланған ұяшықтарға ие болды және біркелкі жылытылады. Кварц материалында жоғары температураға төзімділік пен химиялық тұрақтылығы жақсы, ол өндірістік ортаның таза тазалығын сақтауға ықпал етпейді.

Қытайдың вафли пайдаланылған кварцтық қайық нарығындағы инноватор және көшбасшы ретінде, сіз жартылай өткізгіш өнеркәсібімен немесе фотоэлектрлік өнеркәсіппен айналысасыз ба, егер сізге жоғары тазалықтағы кварцты вафельді қайық қажет болса, бізден баға сұраңыз, біз тігетін боламыз. бұл сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес.

VeTek жартылай өткізгіш өнім дүкендері: