Неліктен Кофер вафлиді енгізу барысында енгізілген?

Коотехниканы барысында енгізувафлиКесу дегеніміз - бұл тұрақты зарядтау және ластану қаупін басу үшін тиімді процестің өлшемі, осылайша ластанудың төмендеуі, осылайша сіз дұрыстығын және ұзақ мерзімді чиптердің сенімділігін арттырады.

1. Статикалық зарядтауды басу

Ішіндевафли, Жылдамдығы жоғары айналмалы гауһар пышақ кесу, салқындату және тазарту үшін жоғары қысымды иондалған (ди) су ағындарымен бірге жұмыс істейді. Пышақ пен вафли арасындағы қарқынды үйкеліс үлкен мөлшерде статикалық зарядты тудырады; Сонымен бірге, ди-су аз жылдамдықты шашырату және әсерінен аздап ионизациядан өтіп, иондардан тұрады. Силиконның өзі жинақталуға тырысады, өйткені егер бұл заряд уақытында шығарылмаса, кернеу 500 В немесе одан да көпке дейін көтеріліп, электростатикалық разрядты (ESD) жоғарылатады.

ESD металлдың өзара байланыстарын бұзып қана қоймай, аралық диэлектриктерді бұзып қана қоймай, сонымен қатар, силикон шаңын вафлиді шаңға, сонымен қатар вафли бетіне доростатикалық тарту арқылы, бөлшектердің ақауларына әкелуі мүмкін. Ауыр жағдайларда, ол сымдарды байланыстыру немесе байланыстырудың нашарлауы сияқты облигациялар алаңының мәселелеріне әкелуі мүмкін.

Көмірқышқыл газы (CO) суда еріген кезде, ол көміртегі қышқылын (H2ко) құрайды, бұл сутегі иондарына (H⁺) және бикарбонат иондарына (HCO₃⁻) одан әрі бөлінеді. Бұл судың өткізгіштігін едәуір арттырады және оның кедергісін азайтады. Жоғары өткізгіштік су ағындары арқылы тез арада су ағып, вафли немесе жабдық беттерінде жинақтауды қиындатады.

Сонымен қатар, Co₂ - бұл әлсіз электрлік газ. Жоғары энергия ортасында ол CO₂⁺ және O⁻ сияқты зарядталған түрлер қалыптастыру үшін иондандырылуы мүмкін. Бұл иондар вафли бетіне және әуе бетіне және электростатикалық тарту және ESD оқиғалар қаупін төмендете алады.

2. Ластануды азайту және вафли бетін қорғау

Вафлидің кесілуі кремний шаңының көп мөлшерін шығарады. Бұл ұсақ бөлшектер ақы алынды және вафли немесе жабдық беттерін ұстанады, бөлшектердің ластануын тудырады. Егер салқындату суы сәл сілтілі болса, ол металл иондарды (мысалы, фе, ни, мысалы, ф.а, ni, мысалы, ф.а, ni, және металл гидроксид »пайда болады. Бұл жауын-шашын вафли бетіне немесе микросхемаға салынып, чип сапасына кері әсерін тигізеді.

Бір жағынан, бір жағынан, бейтараптандыру үшін зарядтау шаң мен вафлидің бетіне дейінгі электростатикалық тартуды әлсіретеді; Екінші жағынан, Co₂ газ ағыны бөлшектерді кесу аймағынан алшақтатуға көмектеседі, олар өздерінің критикалық аймақтардағы қайта электрогтарын азайтады.

Ерітілген кодермен қалыптасқан әлсіз қышқыл орта, сонымен қатар металл иондардың тұнбаларын гидроксидке тұнбаны гидроксидке түрлендіреді, сондықтан олар еріген күйде металдарды сақтайды, сондықтан олар су ағынымен кетеді, бұл вафли мен жабдықтардың қалдықтарын азайтады.

Сонымен бірге, Co₂ инертті. Номиналды аймақта белгілі бір қорғаныс атмосферасын қалыптастыру арқылы ол кремний шаңы мен оттегінің тікелей байланысын азайтып, шаң тотығу қаупін төмендетеді, агломерациялау қаупін төмендетеді және беттерге қосылуы мүмкін. Бұл тазалағыш кесу ортасын және тұрақты технологиялық жағдайларды сақтауға көмектеседі.

Вафлиді кесу кезінде кросс-суға енгізу тек статикалық және ESD тәуекелін тиімді басқарады, сонымен қатар шаң мен металды ластануды едәуір азайтады, бұл оны енгізу мен чиптердің сенімділігін арттырудың маңызды құралы болып табылады.