7N Жоғары тазалықтағы CVD SiC шикізаты

1. Негізгі өнімділік факторлары

• 7N дәрежесі тазалық: Біз металл қоспаларын ppb деңгейінде сақтай отырып, тұрақты тазалықты 99,99999% (7N) сақтаймыз. Бұл жоғары кедергісі бар жартылай оқшаулағыш (HPSI) кристалдарын өсіру және қуат немесе РЖ қолданбаларында нөлдік ластануды қамтамасыз ету үшін өте маңызды.
• Құрылымдық тұрақтылық C-шаңға қарсы: Сублимация кезінде құлдырауға немесе ұсақтарды босатуға бейім дәстүрлі ұнтақтардан айырмашылығы, біздің үлкен дәнді CVD массасының құрылымы тұрақты болып қалады. Бұл көміртегі шаңының (C-шаңының) өсу аймағына көшуіне жол бермейді — кристалдық қосындылар мен микроқұбыр ақауларының негізгі себебі.
• Оңтайландырылған өсу кинетикасы: Өнеркәсіптік ауқымдағы өндіріске арналған бұл көз 1,46 мм/сағ дейін өсу қарқынын қолдайды. Бұл әдеттегі ұнтақ негізіндегі әдістермен әдетте қол жеткізілген 0,3–0,8 мм/сағ. салыстырғанда 2-3 есе жақсартуды білдіреді.
• Жылулық градиентті басқару: Біздің блоктарымыздың жоғары көлемдік тығыздығы мен ерекше геометриясы тигель ішінде агрессивті температура градиентін жасайды. Бұл стандартты процестерді бұзатын «Si-бай ерте/С-ке бай кеш» ауытқуларын жұмсартып, кремний мен көміртегі буларының теңгерімді шығарылуына ықпал етеді.
• Тигельді жүктеуді оңтайландыру: Біздің материал ұнтақ әдістерімен салыстырғанда 8 дюймдік тигельдердің жүк көтеру қабілетін 2 кг+ арттыруға мүмкіндік береді. Бұл бір циклде ұзағырақ құймалардың өсуіне мүмкіндік береді, бұл өндірістен кейінгі кірістілік жылдамдығын 100%-ға дейін тікелей жақсартады.

1. Техникалық сипаттамалар

Салыстыру: VETEK CVD Bulk қарсы дәстүрлі ұнтақ