CVD SIC вафли баррель ұстағыш

Металл органикалық бумалық будың тұндыруы (MOCVD) - қазіргі уақытта жартылай өткізгіш лазерлер мен жарықдиодты лазерлер мен жарық диодтарын, әсіресе ган эпитаксиін өндіруде кеңінен қолданылатын эпитаксиалды өсудің ең ыстық технологиясы. Эпитакси кристалл субстратындағы басқа бір кристалды қабықтың өсуіне жатады. Эпитакси технологиясы жаңадан өсірілген кристалды пленканың негізгі кристалды субстратпен тураланғанын қамтамасыз ете алады. Бұл технология жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін қажет субстратқа арналған ерекше қасиеттері бар фильмдердің өсуіне мүмкіндік береді.

Вафли баррель ұстағыш - эпитаксиальды өсу пешінің негізгі құрамдас бөлігі. CVD SIC жабыны вафли ұстаушысы әр түрлі CVD эпитакситтік өсу пештерінде, әсіресе MOCVD эпитаксилі өсу пешіндерде кеңінен қолданылады.

Функциялар және FeCVD-дің күрделі баррельді баррель ұстағыштары

● Жүреу және жылыту субстраттар: CVD-ді қапталған баррель Сусептор субстраттарды тасымалдау және MOCVD процесі кезінде қажетті жылытуды қамтамасыз етеді. CVD-дің жабылған вафли баррель ұстағыштары жоғары тазалық графитті және SIC жабынынан тұрады және керемет өнімділікке ие.

● біркелкілік: Mocvd процесінде графит баррель ұстағыш эпитаксиальды қабаттың біркелкі өсуіне қол жеткізу үшін үздіксіз айналады.

● Жылу тұрақтылығы және жылу біркелкілігі: SIC жабыны бар бөшке сезімшабының SIC жабыны керемет жылу тұрақтылығы мен жылу біркелкілігіне ие, осылайша эпитаксиальды қабаттың сапасын қамтамасыз етеді.

● Ластанудан аулақ болыңыз: CVD-дің жабылған вафли баррель ұстағышында өте жақсы тұрақтылық бар, сондықтан ол жұмыс кезінде ластаушы заттар шығарылмайды.

● Ультра ұзақ қызмет ету мерзімі: SIC жабынының арқасында CVD SIC жабылды bArrel Susceptor әлі күнге дейін жоғары температурада және MOCVD-дің коррозиялық газ ортасында жеткілікті беріктікке ие.

Barrel CVD реакторының схемасы

Ветек жартылай өткізгіштің ең үлкен ерекшелігі, СИК-ді вафли баррельді ұстаушы

● Реттеудің ең жоғарғы дәрежесі: Графит субстратының материалдық құрамы, моткалық жабынның материалдық құрамы және қалыңдығы және вафли ұстаушының құрылымы барлық клиенттердің қажеттіліктеріне сәйкес реттелуі мүмкін.

● басқа жеткізушілердің алдында болу: Vetek Semicondudor компаниясының SIC қапталған графитті баррельді сорғыш эксепторлары, сонымен қатар клиенттердің қажеттіліктеріне сәйкес реттелуі мүмкін. Ішкі қабырғаға біз клиенттердің қажеттіліктеріне жауап беру үшін күрделі үлгілерді жасай аламыз.

Басталған сәттен бастап Vetek жартылай өткізгіші SIC жабынын үздіксіз зерттеуге дайын болды. Бүгінгі таңда Vitek жартылайдюсторы саланың өндірісінің жетекші өндірісінің беріктігі бар. Ветек жартылай өткізгіш CVD CIC жабылған вафли бар Bafer баррель ұстағыш өнімдерін асыға күтеді.

CVD кВт-жабынының квадрат құрылымының SEM деректері

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері