MOCVD қолдауы

РетіндеCVD SIC жабыныӨндіруші Ветек Жартылай өткізгіш сізге Aixtron G5 Mocvd сезімталдарымен қамтамасыз етуге қабілетті, ол жоғары тазалық графитінен және CVD-ді (5ppm-ден төмен). 

Micro LEDS технологиясы қолданыстағы жарықдиодты экожүйені бұзу болып табылады, олар қазірге дейін LCD немесе жартылай өткізгіш салаларда болды, ал Aixtron G5 Mocvd жүйесі осы қатаңдық талаптарын тамаша қолдайды. Aixtron G5 - ең қуатты моквд реакторларының бірі, ең алдымен, кремний негізіндегі ган эпитаксиінің өсуіне арналған.

Барлық өндірілген эпитаксиалды вафлилердің толқын ұзындығының өте тығыз және өте төмен беттік деңгейі төмен, олар инновациялық талап етедіMOCVD технологиясы.

Aixtron G5 көлденең планетарлық диск жүйесі, негізінен планетарлық диск, жабын сақинасы, төбеге арналған диск, жиналған диск, пробирко, пиндер Коллектор, ПИН-Коллектор және т.б.CVD TAC жабыны+ Жоғары тазалық графиті,Қатты киізжәне басқа материалдар.

MOCVD сезімталдық ерекшеліктері келесідей

✔ Негізгі материалды қорғау: CVD CIC жабыны эпитаксиальды процесстегі қорғаныс қабаты ретінде әрекет етеді, олар эроксиальды процессте, ол сыртқы ортаның негізгі материалға әсерін және зақымдалуы, сенімді қорғаныс шараларын ұсынады және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартуы мүмкін.

✔ Тамаша жылу өткізгіштік: CVD CIC жабыны керемет жылу өткізгіштікке ие және ыстықты жабық материалдан жабық бетіне тез тасымалдай алады, эпитакси кезінде жылу менеджментінің тиімділігін арттырады және жабдықтың тиісті температуралық диапазонында жұмыс істейтінін қамтамасыз етеді.

✔ Кино сапасын жақсарту: CVD SIC жабыны тегіс, біркелкі бетті бере алады, бұл фильмнің өсуіне жақсы негіз ұсынады. Бұл тордың сәйкес келмеуінен туындаған ақауларды азайтуға, пленканың кристалыстық және сапасын жақсартады, осылайша эпитаксиалды қабықтың өнері мен сенімділігін арттыруы мүмкін.

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері: