Tac қапталған вафли Сусептор

Vetek жартылай өткізгіш TAC бекітілген вафли Сусептор - бұл қолданылған негізгі компонентМеталл-органикалық бумалық будың тұнбасы (MOCVD)РеакторларЖартылай өткізгіш эпитаксиалды (EPI) процестері. Бұл мамандандырылған дөңгелек база жоғары сапалы графиттен жасалады және оған ерекше жылу және химиялық қасиеттерімен танымал тантал (TAC) қабаты бар.

TAC жабынының негізгі функциясы - жартылай өткізгіш өндірісінің қатал жағдайында вафли соруларының жұмысы мен беріктігін жақсарту. Тантал Карбиді оның қаттылығымен, биік балқуымен және керемет тозуға төзімділігімен әйгілі, оны мінсіз қорғаныс қабаты етеді. Бұл жабын коррозиялық химиялық реакциялардан және ішінде пайда болатын механикалық кернеулерден алынған графит негізін қалтайдыMocvd реакторлары, жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту және сенімділікті арттыру.

Жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксиалдық өсу кезеңінде TAC қапталған вафлицепцияның вафли-эксепторлары пиналдың дұрыс тұндыруын қамтамасыз ету арқылы маңызды рөл атқарады. Оның жоғары температураға және қатал химиялық ортаға төзімділігі, жартылай өткізгіш құрылғылардың дәл өндірісі үшін өте маңызды, бұл жабдыққа технологиялық жағдайларды талап етеді.

А комбинациясыГрафит өзегіжінеTAC жабыныMOCVD процесі кезінде өсірілген жартылай өткізгіш қабаттардың қайталануы мен сапасын жақсарту үшін қажет сусцептор арқылы жылу таратуды қамтамасыз етеді. Бұл озық материалдық дизайн ұзақ мерзімділікті қамтамасыз етіп қана қоймай, сонымен қатар жоғары сапалы жартылай өткізгіштік өндірістің жоғары сапалы электронды компоненттер үшін қатаң талаптарына сәйкес келеді.

Жетекші жеткізуші және TAC қапталған вафли сорғыштарының өндірушісі ретінде Ветек жартылайдюсторы жартылай өткізгіш өнеркәсіпке сапалы техникалық шешімдерді жеткізуге дайын. Біз сенімділікті, бейімделген өнімдерді ұсынатын, Қытайдағы ұзақ мерзімді сенімді серіктес болуды күтеміз.

Ветек жартылай өткізгіш TAC ҚОСЫМША ҚАТЫСАДЫ: