Вафкаларда не бар?

Кремний вафлилеріИнтегралды схемалар мен жартылай өткізгіш құрылғылардың негізі болып табылады. Олардың қызықты ерекшелігі бар - жақтары немесе жағындағы кішкентай ойықтар .it - ​​ақау емес, бірақ әдейі жасалған функционалды маркер.Шын мәнінде, бұл мотор бүкіл өндірістік процеске бағытталған және жеке куәлік ретінде қызмет етеді.

Алғашқы күндері вафли көбінесе маркер ретінде «пәтер» қолданды, айналмалы жиекте қысқа тік сегмент алаңын білдіреді. Бұл пәтерлердің позициясы мен саны кристалды бағдарлар мен допинг түрлерін ажырату үшін пайдаланылды. Вафли мөлшері жоғарылағандықтан, дәлдікті жоғарылату жақсарды, негізгі ағымдағы 200 мм және 300 мм вафли көбінесе кішкентай доғаның тәрізді дизайнында стандартталған. Бұл номчтың позициясы стандарттармен анықталады және вафлидің кристалды бағдарын (мысалы <100> немесе <111>) көрсету үшін пайдаланылады және келесі жабдықтардың жалпы анықтамасын ұсыну үшін пайдаланылады.

Вафли несчерінің қызметі қандай? 

• Біріншіден, ол вафлиді туралауға сілтеме жасайды. Литография, иілу және ион имплантациясы сияқты негізгі қадамдар бірнеше өрнек қабаттарын жинақтауды қажет етеді. Егер әр қабаттың координат жүйесі сәйкес келмесе, соңғы құрылғылар дұрыс емес және қырылып қалады. Нөмірді анықтай отырып, жабдық бірыңғай координаттар жүйесін тез ашып, содан кейін дәл қабаттасу үшін туралау белгілерін қолданыңыз.
• Екіншіден, бұл вафли ақпараттарын кодтайды. Әр түрлі кристалды бағдарлар және әр түрлі допинг түрлері (мысалы, P-тип және n типті) ерекше материалдық қасиеттері мен дизайнының пікірлері бар. Номча бағыты, артындағы белгілермен және басқа құралдармен біріктірілген, өндіріс желісіне өнімнің әр түрлі түрлері арасындағы аралас өңдеу және сұрыптау кезінде вафлиді тез анықтауға мүмкіндік береді.
• Үшіншіден, ол автоматтандырылған өңдеудегі қауіпсіздікті қамтамасыз етеді. Қазіргі заманғы фабалар робот қарулары мен автоматтандырылған материалдарды өңдеу жүйелерін (AMHS) кеңінен қолданады. Бұл жүйелер маңдайға және вафлидің алдыңғы / артқы жағын және вафлидің бағытын анықтау үшін, вафлидің бағытын анықтау үшін, мүмкін, бұл мүмкін, бұл мүмкін, бұл басқаша шығуға әкеледі.

Құрылғы және технологиялық инженерлер үшін вафлидегі ойық шамалы көрінуі мүмкін, бірақ ол кристалды тарту, эпитакссия және вафлидің барлық тізбегінен буып-түю алдындағы сынақтан өткізіледі. «Бағыт» қатысқан сайын, кристалды бағдарлау, макет туралау, стресстің туралануы, стресстік бағыты немесе белгілі бір электр құралдары құрылымы, тіпті осы кіші геометриялық маркер әрқашан дерлік фонда болады. Нөктің рөлін түсінгеннен кейін, қандай да бір вафлиді өндіріс желісі арқылы қалай қозғайтынын және әр процестің қандай қадамын осы кремнийдің айналасында қалай үйлестіретінін бақылау оңайырақ болады.