Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы

Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы - вафлиді эпитаксиальды өсу үшін жеткізу үшін арнайы қолданылған Aixtron Mocvd жабдықтарының ажырамас бөлігі. Бұл әсіресе қолайлыЭпитаксиалды өсуГан және кремний карбидінің (SIC) процесі. Оның бірегей «спутниктік» дизайны газдың біркелкілігін қамтамасыз етіп қана қоймай, вафли бетіне пленкаға тұндырудың біркелкілігін арттырады.

Aixron'sвафли тасымалдаушыларәдетте жасаладыКремний карбид (SIC)немесе CVD-қапталған графит. Олардың ішінде кремний карбиді (SIC) керемет жылу өткізгіштікке, жоғары температураға төзімділігі жоғары және жылу кеңею коэффициенті бар. CVD-қапталған графит - бұл кремний карбидімен қапталған графит, ол коррозияға төзімділігі мен механикалық беріктігін арттыра алады. SIC және қапталған графит материалдары 400 ° C-1600 ° C-қа дейін, жоғары температурада керемет жылу тұрақтылығына төтеп бере алады, бұл эпитаксиалды өсу процесіне өте маңызды.

Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы негізінен вафлиді тасымалдау және бұру үшін қолданыладыMocvd процесіЭпитаксиальды өсу кезінде біркелкі газ ағынын және біркелкі тұндыруды қамтамасыз ету.Нақты функциялар келесідей:

● вафлидің айналуы және біркелкі тұнбасы: Aixtron жерсеріктік тасымалдаушысының айналуы арқылы вафли эпитаксиальды өсу кезінде тұрақты қозғалысты сақтай алады, газдың вафли бетіне біркелкі ағып кетуіне мүмкіндік береді.

● Жоғары температура және тұрақтылық: Кремний карбиді немесе қапталған графит материалдары 1,600 ° C-қа дейін 1,600 ° C дейін температураға төтеп бере алады. Бұл мүмкіндік вафлидің эпитаксиалды өсу кезінде деформациялануын қамтамасыз етеді, ал тасымалдаушының өзі эпитаксиальды процеске әсер етуіне жол бермейді.

● Бөлшектердің қысқаруы: Жоғары сапалы тасымалдаушы материалдары (мысалы, SIC) бумен тұндыру кезінде бөлшектердің ұрпағын төмендететін тегіс беттерге ие, осылайша ластану мүмкіндігін азайтады, бұл ластану мүмкіндігін азайтады, бұл жоғары сапалы, жоғары сапалы жартылай өткізгіш материалдарды шығарады.

Ветексемиконның AIXTRON спутниктік вафли-тасымалдаушысы 100 мм, 150 мм, 200 мм, тіпті үлкен вафли өлшемдері бар және сіздің жабдықтың және технологиялық талаптарға сәйкес жеке өнім қызметтерін бере алады. Біз сіздің қытай тіліндегі ұзақ мерзімді серіктесіңіз боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

CVD кандидаттық кристалды құрылымының SEM деректері：

Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушы дүкендер: