Mocvd графит науасын қалай таңдауға болады?

1-сұрақ: Mocvd графит науасы дегеніміз не және неге ол эпитаксиальды процесс үшін өте маңызды?

Моцв графит науасы немесе MOCVD графиті сезімтеті деп те аталатын металл-органикалық бумалық бумалық плиталар (MOCVD) графит плитасы, сонымен қатар, эпитаксиальды өсу кезінде жартылай өткізгіш вафлиді түзету үшін қолданылатын жоғары сапалы компонент. Эпитаксиальды процесте ол қыздыру элементі ретінде әрекет етеді және біркелкі температураның таралуын қамтамасыз етеді, бұл алдыңғы жартылай өткізгіш құрылғылар, жарықдиодты өндіріс және күн батареялары сияқты жұқа қабықшаларды орналастыруда маңызды рөл атқарады.

Графит науасы экстремалды температураны (1800 ° C-қа дейін) және коррозиялық газ ортасына төтеп бере алады, бұл оны жоғары температуралы, коррозияға төзімді MOCVD жүйелері үшін қажет емес материал етеді. Оның өнімділігі процестердің дәйектілігі мен вафли кірістілігіне тікелей әсер етеді.

2-сұрақ: Mocvd графит науаларын таңдау кезінде қандай материал қасиеттерге басымдық беру керек?

Дұрыс графитті тақтайшаны таңдау оның физикалық және химиялық қасиеттерін бағалауды қажет етеді:

● Жоғары тазалық (99,999% -дан астам):

Әдетте металдар немесе күл сияқты қоспалар эпитаксиальды процесті ластауы мүмкін. Ветексемикон сияқты жоғары сапалы графикалық гипсепторлық жеткізушіні таңдау жартылай өткізгіш эпилярдағы минималды ақауларды қамтамасыз етеді.

●  Тамаша жылу тұрақтылығы:

Нақты өңдеу кезінде графит нөмірлері белгілі бір жылу күйзелістеріне төтеп беріп, тез температуралық циклдермен құрылымдық тұтастыққа ие болуы керек. Veteksemicon Жоғары тығыздықты графит бірыңғай жылу бөлуді қамтамасыз етеді, бұл бірыңғай фильмдердің өсуіне өте маңызды.

●  Тамаша коррозияға төзімділік:

MOCVD процестер ортасында графит әдетте коррозиялық газдарға ұшырайды (мысалы,, аммиак, сутегі). Жоғары температуралы коррозияға төзімді коррозияға төзімді моквд-графит плиталары, ұсақ түйіршіктелген құрылымы, коррозияны азайтады және қызмет ету мерзімін ұзарту.

●  Жоғары сапалы механикалық беріктік:

Эпитаксиальды процесінде MOCVD графит науалары бірнеше вафлиді бұрмай қолдауы керек. Ветексемиконның айтуы бойынша, нақты өңдеудегі статистикаға сәйкес, графит пластинаның иілгіш күші науаның крекуляциясының алдын алу үшін ≥50 MPA болуы керек.

3-сұрақ: Бағдарлама сценарийі Mocvd графит науаларын таңдауға қалай әсер етеді?

Әр түрлі Mocvd процестері арнайы графит пластиналық дизайндарын қажет етеді:

●  ЖШД / Фотониканың эпитаксиалды өсуі:

Ультра-Тегіс Mocvd графит плиталары Эпитакси процесінде бөлшектерді өндіруді азайту және ақаусыз қабаттарды қамтамасыз ету үшін қолданылады.

Мысалы, Veteksemicon Mocvd графит плиталары (немесе Mocvd үшін ветексемикон графит плиталары) GAN және GAAS эпитаксиіне арналған және оңтайландырылған жылу менеджментіне арналған.

●  Қуат жартылай өткізгішті өндірісі:

Semikera Semicondustor тәжірибелік статистикасымен бірге жетілдірілген тотығуларға төзімділігі бар тақтайшалар, әдетте, кремний карбиді (SIC) немесе галлий нитриді (GAN) процестері үшін артықшылық беріледі.

●  Жоғары өткізу қабілеттілігі:

Көп вафли науалары реактор дизайнымен туралауды қажет етеді. Semikera Semiconductor Semikera Semiconductor компаниясының стандартты жеткізіліміне арналған MOCVD-графит науалары белгілі бір құралдың конфигурациясына сәйкес келуі мүмкін.

С4: Сенімді MOCVD графит табақшасын табудың негізгі пікірлері қандай?

●  Сертификаттау және тестілеу:

Жеткізушінің материалдық сертификаттауды қамтамасыз ететіндігін тексеріңіз (мысалы, тазалық туралы есеп, тығыздық туралы тест) және өңдеуден кейінгі бетті өңдеуді қамтамасыз етеді (кеуектілікті азайту үшін жабық). Жетекші қытай жартылай өткізгіш жабыны және эпитаксиалды технологиялық жабдықтар өндірушісі ретінде Veteksemicon Mocvd графит плиталары ретінде, мемлекеттік департаменттердің қатаң тәжірибелер мен тазалық және тығыздығы бойынша тестілеу нәтижелері өз құрдастарынан алда.

●  Реттеу мүмкіндіктері:

Жоғары сапалы графикалық гипсепторлық жеткізушілер реактордың талаптарын қанағаттандыру үшін мөлшерін, тесік үлгісін және жабынын теңшеуі керек. Ветексемикон да, Стемикера жартылай өткізгіш те байланысты өнімдер мен технологиялардың теңшелімдері бар және олардың әр түрлі қажеттіліктерін қанағаттандыруға қабілетті.

●  Өмірдің тиімділігі және тиімділігі:

Аралық графит алдын-ала шығындарды үнемдеуі мүмкін Ветексемикон графит пластиналарын және басқа да сапалы өнімдерді таңдау сіздің бизнесіңізге ұзақ мерзімді сенімді өндіріске қол жеткізуге мүмкіндік береді.

5-сұрақ: Mocvd графит науаларының қызмет ету мерзімін қалай ұзартуға болады?

●  Тотығуды болдырмаңыз: Жылу / салқындату циклдары кезінде инертті газды тазартуды қолданыңыз.

●  Үнемі тазаКепілмеген қалдықтарды кетіру үшін абразивті емес әдістерді (мысалы, құрғақ) қолданыңыз.

●  Механикалық стресстен аулақ болыңыз: Науаны вафлиді жүктеу / түсіру кезінде абайлап ұстаңыз.

Ветексемиконның сізге ең жақсы кеңестері:

Жоғары температуралы коррозияға төзімді Mocvd графит плиталары үшін жартылай өткізгіштік материалдардағы сараптамамен жабдықтаушыларға басымдық береді.

Өнімділікті тексеру үшін нақты процесс шарттары бойынша үлгілерді тексеріңіз.

Экстремалды ортадағы беріктік пен сенімділікті арттыру үшін жетілдірілген жабындарды (мысалы, SIC жабыны, TAC жабыны) зерттеңіз.

MOCVD графит тақтасы SIC жабыны туралы қосымша ақпарат алу үшін мына жерді басыңыз.

TAC жабыны туралы қосымша ақпарат алу үшін мына жерден басыңыз.