EPI вафли ұстағышы

Vetek жартылай өткізгіш өнімді пайдалану қызметтерін қолдайды, сондықтан EPI вафли ұстаушысы сізге өнімнің өлшеміне негізделген жеке өнім қызметтерін ұсына аладывафли(100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм және т.б.). Біз сіздің қытай тіліндегі ұзақ мерзімді серіктесіңіз боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.

EPI вафли иелерінің қызметі және жұмыс принципі

Жартылай өткізгіш өндірісінің саласында эпитакси процесі жоғары деңгейлі жартылай өткізгіш құрылғыларды дайындау үшін өте маңызды. Бұл процестің негізіне сапа мен тиімділікті қамтамасыз етуде орталық рөл атқаратын EPI вафли иесі болып табыладыЭпитаксиалды өсу.

EPI вафли ұстаушысы, ең алдымен, эпитакси процесінде вафлиді мықтап ұстауға арналған. Оның негізгі міндеті - вафлиді дәл бақыланатын температура мен газ ағынының ортасында ұстау. Бұл мұқият бақылау эпитаксиальды материалға вафли бетіне біркелкі сақтауға мүмкіндік береді, біркелкі және жоғары сапалы жартылай өткізгіш қабаттарды құрудағы маңызды қадам.

Эпитакси процесіне тән жоғары температура жағдайында, EPI вафли иесі өзінің қызметіне Excels Excels. Ол реакция камерасындағы вафлиді қатайтып, соқтығысқан кезде, мысалы, сызаттар, мысалы, сызаттар, сондай-ақ бөлшектердің вафли бетіне тигізбесін болдырмайды.

Материал қасиеттері:НегеКремний карбид (SIC)Жарқырайды

EPI вафли иелері көбінесе кремний карбидінен (ӘТК), пайдалы қасиеттердің ерекше үйлесімін ұсынатын материалдан жасалған. SIC-те жылу кеңею коэффициенті шамамен 4,0 x 10⁻⁶ / ° C-ге ие. Бұл сипаттама жоғары температурада ұстағыштың өлшемді тұрақтылығын қамтамасыз етудегі негізгі болып табылады. Жылу кеңеюін азайту арқылы ол вафлиге стрессті тиімді алдын алады, әйтпесе температурадан туындаған жағдайда, өлшемі өзгереді.

Сонымен қатар, SIC өте жоғары деңгейдегі тұрақтылықты білдіреді. Бұл эпитакси процесінде 1,200 ° C-тан 1600 ° C-қа дейін жоғары температураға төтеп бере алады. Оның коррозияға төзімділігі мен таңғажайып жылу өткізгіштікімен (әдетте 120 - 160 Вт / мк) біріктірілген, SIC эпитаксиалды вафли ұстаушылар үшін оңтайлы таңдау ретінде пайда болады.

Эпитаксиальды процестегі негізгі функциялар

EPI вафли иесінің эпитаксиальды процесінде маңыздылығын асыра бағалау мүмкін емес. Ол жоғары температуралы және коррозиялық газ ортасы бойынша тұрақты тасымалдаушы ретінде жұмыс істейді, бұл эпитаксиальды өсу кезінде вафли әсер етпейді және эпитаксиальды қабаттың біркелкі дамуын қамтамасыз етеді.

1.Қа сілтеме және дәл туралауЖоғары дәлдікті инженерлік epi вафли ұстаушы реакция камерасының геометриялық орталықта вафлиді мықтап бекітеді. Бұл орналастыру вафли беті реакция газ ағынымен идеалды контакт бұрышын қалыптастырады. Нақты теңестіру бірыңғай эпитаксиалды қабатты тұндыру үшін ғана емес, сонымен қатар вафли позицияның ауытқуынан туындайтын стресстің шоғырлануын едәуір азайтады.

2. ҰНТЫҚТЫ ЖЫЛЫТУ ЖӘНЕ ЖЫЛДЫҚ Даланы бақылауSIC материалының керемет жылу өткізгіштігін пайдалану, EPI вафли ұстағыш вафлиге жоғары температуралы эпитаксилі ортада тиімді жылу беруге мүмкіндік береді. Сонымен бірге, ол жылыту жүйесінің температурасын таратуды жақсы бақылауды жүзеге асырады. Бұл екі дуалдық механизм барлық вафли беті бойынша тұрақты температураны қамтамасыз етеді, шамадан тыс температуралық градиенттерден туындаған термиялық кернеуді тиімді түрде жояды. Нәтижесінде вафлиді бұру және жарықтар сияқты ақаулардың ықтималдығы едәуір азайтылады.

3.Мартиканың ластануын бақылау және материалдық тазалықЖоғары тазалыққа арналған SIC субстраттарын және CVD-графит материалдарын пайдалану - бұл бөлшектердің ластануын бақылаудағы ойын. Бұл материалдар эпитакси процесінде бөлшектердің пайда болуын және таратылуын, эпитаксиальды қабаттың өсуіне арналған ортақ қоршаған ортаны қамтамасыз етеді. Интерфейс ақауларын азайту арқылы олар эпитаксиальды қабаттың сапасы мен сенімділігін арттырады.

4.Коррозиялық кедергісіКезіндеMocvdнемесе LPCVD процестері, EPI вафли ұстаушысы аммиак және триметил галлийі сияқты коррозиялық газдарды төтедендіруі керек. SIC материалдарының орналастырылған коррозияға төзімділігі иеленушіге қызмет ету мерзімінің ұзартылғанын қамтамасыз етеді, осылайша бүкіл өндіріс процесінің сенімділігіне кепілдік береді.

Ветек жартылайдюсторы арқылы реттелген қызметтер

Ветек жартылай өткізгіш әр түрлі клиенттердің қажеттіліктерін қанағаттандыруға дайын. Біз әр түрлі вафли өлшемдеріне бейімделген жеке вафлиді ұсынамыз, оның ішінде 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм және одан тыс жерлерде. Біздің сарапшылар тобы сіздің талаптарыңызға дәл сәйкес келетін жоғары сапалы өнімдерді жеткізуге арналған. Біз сізге шын жүректен Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды, сізге жоғары деңгейдегі жартылай өткізгіш ерітіндіге айналуға дайынбыз.

CVD кандидаттық кристалды құрылымының SEM деректері:

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері：

Жартылай өткізгіштің epi вафлидің исрилерінің өндірістік цехтары салыстыру: