8 дюймдік CVD кремний карбиді (SiC) қапталған эпитаксистік үстіңгі сақина

8 дюймдік SiC Epi жоғарғы сақинасының негізгі мүмкіндіктері

● Жоғары тазалық: ең аз 99,9995%. Металл эпи-қабатқа ауыспайды. Бұл вафельді тасымалдаушы концентрациясын қажет жерде сақтайды.

● Бөлшектерді басу: CVD құрылымы тығыз. Кеуектер жоқ. Құрал жұмыс істеп тұрған кезде ол бөлшектерді төгпейді. Зауыттар осылайша жақсы кірісті көреді.

● Ыстыққа төзімділік: сақина 1500°C температурада тұрақты болып қалады. Төмен CTE (жылулық кеңею) жылдам қыздыру/салқындату циклдары кезінде деформация болмайтынын білдіреді.

● Химиялық тұрақтылық: қатты CVD SiC H2 және HCl газдарына қарсы тұрады. Ол NH3-ке де қарсы тұрады. Оның қабығын кетіретін жабыны жоқ. Ол қатал CVD орталарында бұзылмайды.

● Құрамдас бөліктің қызмет ету мерзімі: беті өте қатты. Ол HF/HCl қайталанатын химиялық тазалаудан аман қалады. Бұл ауыстыру жиілігін азайтады. Бұл сонымен қатар фаб үшін меншіктің жалпы құнын төмендетеді.

Техникалық сипаттамалар

Топтамалар арасындағы жабын қалыңдығының біркелкілігі 10um-де бақыланады

Қолданбалар

CVD SiC epi жоғарғы сақинасы келесі жағдайларда кеңінен қолданылады:

● Кремний эпитаксисі (Si Epi) реакторлары

● Кремний карбиді эпитаксисі (SiC Epi)

● MOCVD жүйелері

● CVD тұндыру жабдықтары

Әдетте жұптастырылған:

● Суцепторлар

● Вафельді тасымалдаушылар

● Сақиналарды алдын ала қыздырыңыз

● Эпитаксистік реакторлар

VETEK SiC Epi Top Ring не үшін керек?

● Толық өндірістік мүмкіндік: 

Шикізатты тазалаудан бастап дәл өңдеуге және CVD жабынына дейін VETEK жартылай өткізгіштердің тұрақты сапасын қамтамасыз ету үшін бүкіл өндіріс процесін бақылайды.

● Жоғары дәлдік: 

Біз микрон деңгейіндегі өңдеуді қолданамыз. CVD қалыңдығы өте біркелкі. Бұл әрбір сақинаны дәл осылай орындайды.

Жиі қойылатын сұрақтар

(1) SiC epi жоғарғы сақинасы не істейді?

Сақина жылу мен газ ағынын басқарады. Бұл жұқа қабықтың вафлиде біркелкі өсуін қамтамасыз етеді.

(2) Неліктен CVD SiC графитке қарағанда жақсы?

Графит кеуекті. Графиттің кеуектері бар және газды шығарады. Қатты CVD SiC тығыз және таза. Коррозиялық құралдарда ол әлдеқайда ұзағырақ қызмет етеді.

(3). 8 дюймдік SiC жоғарғы сақинасын теңшеуге болады ма?

Иә. Біз сіздің арнайы құрал сызбаларыңызға сәйкес құрастырамыз. Біз сіздің процесіңізге қарай геометрияны реттей аламыз.

(4).SiC эпитаксистік сақиналары қандай салаларда қолданылады?

Олар негізінен жартылай өткізгіштер өндірісінде, соның ішінде қуат құрылғыларында, РЖ құрылғыларында және SiC пластиналар өндірісінде қолданылады.