Tantalum Carbide Tac жабыны дегеніміз не? - Ветексемикон

Тантал Карбид (TAC) дегеніміз не?

Тантал Карбид (TAC) керамикалық материалдың еріген нүктесі 3880 ℃ дейін, бұл жоғары балқыту нүктесі мен жақсы химиялық тұрақтылығы бар қосылыс. Ол жоғары температуралы ортада тұрақты өнімділікті сақтай алады. Сонымен қатар, оның температураға төзімділігі, химиялық коррозияға төзімділігі және көміртегі материалдарымен жақсы химиялық және механикалық үйлесімділікке ие, оны мінсіз графитті субстратқа айналдырады. 

Тантал көмірсутегі жабыныграфит компоненттерін ыстық аммиак, сутегі, кремниген, кремний буларының және балқытылған металдардың әсерінен, графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартып, графиттің қоныс аударуын азайтады, сапасын қамтамасыз етедіэпитаксиалдықжінеКристалл өсуі.

1-сурет. Жалпы тантал карбидінің құрамдас бөліктері

TAC жабынын CVD процесі бойынша дайындау

Химиялық будың тұнбасы (CVD) - графитті беттерде TAC жабындыларын шығарудың ең жетілген және оңтайлы әдісі.

TACL5 және пропиленді көміртегі мен танталдық көздер ретінде пайдалану тиісінше және аргонды тасымалдаушы газ ретінде қолдана отырып, интеграцияланған TACL5 буы реакция камерасына енгізіледі. Мақсатты температура мен қысымда, графиттің бетіне графиттің бетіне прекурсорлық борандар, мысалы, көміртек пен тантал көздерінің үйлесімі, сондай-ақ презервузия және презервузия және презервуция және сцензия сияқты сериялар. Соңында, графит бетіне тығыз қорғайтын қабат пайда болады, ол графритті экологиялық жағдайдағы тұрақты өмірден қорғайды және графит материалдардың қолданбалы сценарийлерін едәуір кеңейтеді.

2-сурет.Химиялық будың тұндыру (CVD) процедурасы

CVD TAC жабынын дайындау принциптері мен процесі туралы қосымша ақпарат алу үшін мақаланы қараңыз:CVD TAC жабынын қалай дайындауға болады?

Неліктен Ветексемикон таңдау керек?

Жартылайоннегізінен танталға арналған карбид өнімдерін ұсынады: TAC Guide Rist, TAC, TAD үш жапырақ сақинасы,TAC жабыны, TAC жабыны кеуекті графит кеңінен қолданылады, бұл SIC Crystal өсу процесі; TAC қапталған кеуекті графит, TAC жабылған бағытталған сақина,TAC қапталған графитті вафли, TAC жабыны сезімтал,Планетарлық сезімталдық, Және бұл танталға арналған карбидке арналған жабындар кеңінен қолданыладыSIC Epitaxy процесіжінеSIC жалғыз кристалды өсу процесі.

3-сурет.ТұншығуШҚ Жартылай өткізгіштің ең танымал тантал көмірмен қапталған өнімдері