TAC жабыны

Жартылай өткізгішті айналдырадыCVD TAC Қойылған креслоӘдетте PVT әдісі SIC бір кристалл өсу процесінде келесі негізгі рөлдерді ойнатады:

PVT әдісі SIC тұқымдық кристаллды TAC-мен бекітілген кристалды TAC-ге бекітіліп, крик ұнтағын шикізатпен шикізат ретінде орналастырады. Жоғары температура мен төмен қысымның жабық ортасында, SIC ұнтағы сублиматтар және температура градиенті мен концентрация айырмашылығының астында,Sic ұнтағыТұқымдық кристаллдың маңына ауыстырылады және қайта жарықтандырудан кейін көтергішке жетеді. Сондықтан, PVT әдісі SIC Crystal мөлшерінің және нақты кристалды форманың бақыланатын өсуіне қол жеткізе алады.

● Кристалл өсуінің жылу тұрақтылығы

Vetek жартылай өткізгіш TAC жабылған кристранттарда керемет жылу тұрақтылығы бар (2200 ℃-ден төмен болуы мүмкін), бұл олардың құрылымдық тұтастығын сақтауға көмектеседі, бұл олардың құрылымдық тұтастығын сақтауға көмектеседі. Бұл физикалық қасиет SIC қапталған графитті кристалды өсу процесін дәл бақылауға мүмкіндік береді, нәтижесінде біркелкі және ақаусыз кристалдар пайда болады.

● Жақсы химиялық тосқауыл

TAC қапталған крест тәрізді кәріге арналған жабыны жоғары тазалық графитімен үйлестіреді. Бұл мүлік минималды ақаулары бар жоғары сапалы кристалдарға қол жеткізу үшін өте маңызды.

● тұрақты өсу ортасына демпфирлеу

Қапталған TAC-тің керемет демпфинг қасиеттері Тұрақты және бақыланатын графиттің ішіндегі жылу соққысы, одан әрі тұрақты және бақыланатын кристалды өсу ортасына ықпал етеді. Бұл ықтимал кедергілерді азайту арқылы TAC жабыны азаятын, азаятын кристалдардың өсуіне мүмкіндік береді, ақаулық тығыздығы төмен, сайып келгенде, құрылғының өнімділігі мен құрылғының жұмысын жақсартуға мүмкіндік береді.

● Тамаша жылу өткізгіштік

Ветексемиконның күрделі креслоттары керемет термиялық өткізгіштікке ие, бұл графитті тез және біркелкі тасымалдауға көмектеседі. Бұл жылу градиенттерінен туындаған кристалды ақауларды азайтатын кристалды өсу процесінде температураны нақты бақылауды анықтайды.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны

Физикалық қасиеттеріТантал көмірсутегі жабыны

Ветек Жартылай өткізгіш өндірістік дүкендер