Тантал көмірсутегі қапталған сақина

Ветек жартылай өткізгіш тантал көмірсутегі қапталған сақинасы дайындалғанграфигіТантал көмірсутымен қапталған және жоғары сапалы және ұзақ өмір сүру үшін екі матаның ең жақсы қасиеттерін қолданатын комбинациясы. 

Tantalum Carbide қаптамасындағы TAC жабыны SIC Crystal өсу пешінің реактивті атмосфераларында химиялық тұрғыдан инертті болуын қамтамасыз етеді, олар көбінесе сутегі, аргон және азот сияқты газдардан тұрады. Бұл химиялық инерстік өсіп келе жатқан кристалды ластанудың алдын алу үшін өте маңызды, ол ақауларға әкелуі мүмкін және соңғы жартылай өткізгіш өнімдердің жұмысына әкелуі мүмкін. Бұған қоса, TAC жабынымен қамтамасыз етілген жылулық тұрақтылық SIC Crystal өсуіне қажетті жоғары температурада, әдетте, 2000 ° C-ден асатын жоғары температурада тиімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді.

Табаққа арналған тығыз және біркелкі қабатта графит бетіне плазмалық бүрку, CVD әдісі және шламды салған әдіс, бірақ плазмалық бүрку әдісі жоғары жабдықтың талаптары мен TA2C түзілуі бар. Құрамын жабыны саңырауқұлақтармен жабу әдісі, ал жабынның жылу соққыларына қарсы тұру қиын. CVD әдісімен дайындалған жабынды қазіргі кездегі танталға арналған көмірмен қапталған бақыланатын композиция және жоғары тығыздыққа ие.

TAC механикалық қасиеттері Тантал көмірсутек жабыны сақинасын едәуір азайтады. Бұл кристалды өсу процесінің қайталанбас сипатына байланысты, ол жиі термиялық циклдер мен механикалық кернеулерге бағыттайды. TAC қаттылығы мен тозуға төзімділік TAC қаптамасының сақинасы ұзақ уақыт ішінде құрылымдық тұтастық пен нақты өлшемдерді, жиі ауыстырудың қажеттілігін және өндіріс процесінде қысқартуды азайтуға мүмкіндік береді. 

Тантал көлігінің жабынының тығыздығы 14,3 мм / см3 құрайды, эмиссия 0.3, қаттылық - 2000 жыл, еріту нүктесі - 3950 жылдар, ал жақсы физикалық қасиеттер жартылай өткізгіштердің үшінші буыны үшін жалпы материал ретінде таңдалды.

Бұған қоса, графит пен TAC Tantalum карбид жабатын сақинасы кристалл өсу пешінде жылу басқаруын оңтайландырады. Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тиімді таратады, ыстық нүктелердің алдын алу және біркелкі кристаллдың өсуіне ықпал ету. Сонымен бірге, TAC жабыны жылу тосқауылы ретінде қызмет етеді, графит өзегін жоғары температура мен реактивті газдарға тікелей әсерінен қорғайды. Негізгі және жабын материалдары арасындағы бұл синергия тек қатал жағдайларға төтеп беріп қана қоймай, бағыттау сақинасына әкеледіSIC Crystal өсуіСонымен қатар, процестің жалпы тиімділігі мен сапасын жақсартады.

Ветек жартылай өткізгіш тантал көмірсутегі қапталған сақина жартылай өткізгіш өнеркәсіптің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, атап айтқанда, өсу үшін арнайы жасалғанКарбид кристалдары кремний. Оның дизайны графит пен тантал көлігінің күшті жақтарын жоғары температуралы, жоғары стресс ортасында ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді. TAC жабыны химиялық инерсті, механикалық беріктік пен жылу тұрақтылығын қамтамасыз етеді, олардың барлығы жоғары сапалы SIC кристалдарын шығару үшін өте маңызды. Төтенше жағдайларда оның тұтастығы мен функционалдығын сақтау арқылы сақина жоғары қуатты және жоғары жиілікті жартылай өткізгіш құрылғылардың жоғарылауына ықпал ететін SIC кристалдарының тиімді және ақаусыз өсуін қолдайды.

Ветек жартылайдюсторы - жетекші өндіруші және жеткізушіТантал көмірсутегі жабыны, Кремний карбид жабыныжінеАрнайы графитҚытайда. Біз көптен бері біз жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған озық технологиялар мен өнімдердің шешімдерін ұсынуға дайынбыз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенгенбіз.

Тантал Карбид (TAC) жабыныМикроскопиялық көлденең қимада：

ШолуЖартылай өткізгіш чип Epitaxy Industry Желi：