Өнімдер
Кремний карбид тұқымы кристалды байланыстыру Вакуумды ыстық пеш

Кремний карбид тұқымы кристалды байланыстыру Вакуумды ыстық пеш

SIC тұқымдық байланыс технологиясы - бұл кристалды өсу әсер ететін негізгі процестердің бірі. Пеш тұқым байланысу процесінде пайда болған әртүрлі ақауларды тиімді азайта алады, осылайша кристалл құймасының өнімділігі мен қорытынды сапасын жақсартады.

SIC тұқымдық байланыс технологиясы - бұл негізгі процестердің біріКристалл өсуі.Ветек мамандандырылғанВакуумды ыстық пешосы процестің сипаттамаларына негізделген тұқым байланысы үшін. Пеш тұқым байланысу процесінде пайда болған әртүрлі ақауларды тиімді азайта алады, осылайша кристалл құймасының өнімділігі мен қорытынды сапасын жақсартады.


Таныстыру

1. Пеш бұрын тұқым байланысу үшін қолданыладыSIC Crystal өсуі

2. Кепілдендірілген тұқым 2300 ℃ температурада, ауа көпіршіктері, биікпен, тұқымның таза беті бар, ал қоспалар жоқ

3. Қыздырылған платформ спираль тәрізді, біркелкі жылу аймағының төзімділігі, оны пайдалану үшін, пайдалану оңай, пайдалану оңай

4. Үлес датчиктермен жабдықталған жүктеме тақтасының төменгі жағы, дәл көрсетілгендей, дайындаманың жоғарғы бөлігі 


Функцияны енгізу


1.Түзді сумен салқындатылған металл палатасы пештің денесінің сыртқы температурасын тиімді түрде азайтады, жоғары температуралы зиянды азайтады және қоршаған ортаға әсерді төмендетеді.

2.Түктеуге автоматты түрде жоғарылату және күш-қуат ұстап, ұстап тұру, баяу жүктеу күші және ығысуды автоматты түрде басқаруға болады.

3. Түзетілген вакуумдық конфигурациялар қол жетімді және әр түрлі вакуумдық деңгейлер процеске сәйкес таңдалуы мүмкін.

4.Көле қысымы және жоғары температураны бақылаудың дәлдігі.

5. Төмен сәулелену құрылымы дәл механикалық тартқышты қабылдайды, дәл және статистожегішті, қауіпсіз пайдалануды және экологиялық таза болуды қамтамасыз етеді.

6. Төменгі мөрі «әмбебап» жолмен итеру өзекшелеріне қосылған. Дайындаманың қашан басылғанын тексеріңіз, төмендегі мөрдің беті қыздырылған пластердің бетіне бейімделген параллель орналасқан, ал жұмыс бөлігінің біркелкі түске боялғанын тексеріңіз.

7. Төменгі маркада тиеуге тиеу функциясы бар, бұл тегіс және жұмсақ, жұмсақ және жұмсақ төмендейтін функциялары бар, осылайша дайындаманың крекуляциясының алдын алу үшін.

.


9.Боттың қыздырылған тақтайшасы мен төмендегі дюймдік мөрі, температураның тиімсіз жоғалуын азайту үшін жылу оқшаулау қалқанымен жабдықталған.



Параметр

Түсіндірме
Параметр
Нәр беруші
Бір фазалық / 220 В / 50 Гц
Жылу қуаты
5.6 кВт
Жылыту әдісі
Жылытылған диск
Макс қыздыру температурасы
600 ℃
Тұрақты температурада бақылау дәлдігі.
± 0.15 ℃
TEMPEAMEATESENTENT
0.1 ℃
Вакуумдық камераның өлшемдері
Φ700 x 710 мм
Макс
1600 кг
Марканың басы
Қатты маркалар басы
Төмен сәулеленудің дәлдігі
± 1.1 кг
Қыздырылған пластердің диаметрі
Φ350 мм
Төменгі маркалар басының диаметрі
Φ350 мм
Тұқымның техникалық сипаттамасы
12 дюйм
Суық күйде вакуум
<5 PA (суық)
Температураның басқару режимі
Автоматты басқару
Температураның араласу тәсілі
Термопара
Электрмен жабдықтаудың рейтингі
5.6 кВт + 2,3 кВт
Бақылау тәсілі / төмен сәулелік бақылау
HMI автоматты басқару
Салқындату суының ағуы
15 л / мин
Негізгі блоктың өлшемі
1,700 x 1,200 x 2,500 мм
Негізгі блоктың салмағы
1200 кг


Белгі

1. Жол сорғыш, вакуумдық сорғы жылдамдығы реттелетін

2. Палата, үлкен жаңарту кеңістігі

3. Төменгі маркалар тұрақты жұмыс істейді және автоматты түрде жұмыс істейді

4. Төмен сәулеленуді жеңілдету және баяу көбейту, рецепт бойынша автоматты басқару

5. Температураны бағдарламаланған басқаруды және төмен сәуле

6. Вакуумдық, төмендегі және температураның параметрлері әртүрлі байланыстар процестеріне сәйкес болуы мүмкін

7.Кондтау тығыздалған және көпіршіктерсіз

8.Секенің мөлшері өте төмен, жабдық шығаратын жарықшақтар жоқ

90 сәйкес келетін тұқым байланысы 6-12 дюйм

10.x. Төменгі Күші: 1.6 Т

11. Уакуум: 5 PA (суық)

12. Қыздырылған пластердің фемпераны біркелкілігі: <± 3 ℃, σ <4 (200 ℃)

13. Қысымның шоғырлануы: <0,5%




Hot Tags: Ыстық пеш
Сұрау жіберу
Байланыс ақпараты
  • Мекенжай

    Ванда жолы, Зиян көшесі, Вуйи округі, Цзиньхуа қаласы, Чжэцзян провинциясы, Қытай

  • Электрондық пошта

    anny@veteksemi.com

Кремний карбиді жабыны, тантал карбиді жабыны, арнайы графит немесе бағалар тізімі туралы сұраулар үшін бізге электрондық поштаңызды қалдырыңыз, біз 24 сағат ішінде байланысамыз.
X
Біз cookie файлдарын сізге жақсырақ шолу тәжірибесін ұсыну, сайт трафигін талдау және мазмұнды жекелендіру үшін пайдаланамыз. Осы сайтты пайдалану арқылы сіз cookie файлдарын пайдалануымызға келісесіз. Құпиялылық саясаты
Қабылдамау Қабылдау