TaC жабыны графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін қалай жақсартады? - VeTek жартылай өткізгіш

CVD танталға арналған карбид жабыныВетек жартылай өткізгіштің меншікті химиялық будың (CVD) меншікті химиялық бумалық субстрат бетіне буға түсіреді.

Tantalum Carbide (TAC) жабындары қызмет ету мерзімін айтарлықтай жақсартадыграфит бөліктерікөптеген механизмдер арқылы, әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру және кристалдардың өсуі сияқты жоғары температура, жоғары коррозиялық орталарда. 

Міне, нақты себептерTAC жабындарыграфит бөліктерінің беріктігін арттыру:

●  Жоғары температураға төзімділік жақсартылды

Өте жоғары термиялық тұрақтылық: TaC жабындары 2000°C асатын өте жоғары температурада тұрақты болып, тіпті 2200C температурада тиімді жұмыс істей алады. Бұл жоғары температураға төзімділік жабынға жартылай өткізгіштерді өндіру кезінде балқытылған металдар мен химиялық газдардың эрозиясына төтеп беруге мүмкіндік береді, осылайша графит бөліктерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.

● Керемет коррозияға төзімділік

Химиялық эрозияға төзімділік: TaC жабындары сутегі, аммиак және кремний буы сияқты коррозиялық газдарға күшті төзімділікке ие, бұл бұл газдардың графиттік негізді тоттануын тиімді болдырмайды және қатал ортада графит бөліктерінің зақымдану қаупін азайтады. Бұл кристалдардың өсу процесінде жабын қоспалардың миграциясын тежей алады және кристалдың сапасы мен кірістілігін жақсартады дегенді білдіреді.

● Жақсартылған механикалық қасиеттер

Жақсы адгезия және жылтылдыққа төзімділік: TAC жабындары графит субстратқа мықтап жабысып, жоғары температуралы операциялар кезінде жабыны тазартпайды немесе бөлінбейді. Сонымен қатар, оның керемет жылулыққа төзімділігі крекинг пен пиллингсіз тез температураның өзгеруіне төтеп бере алады, бұл графит бөліктерінің қызмет ету мерзімін ұзарту.

● Аралықтың ластануын азайтыңыз

Өте жоғары тазалық: TaC жабындары өте төмен қоспаларға ие, бұл жоғары температура жағдайында болуы мүмкін ластану мәселелерін азайтуға көмектеседі. Қажет емес қоспалардың эпитаксиалды қабатқа өтуіне жол бермей, TaC жабындары кристалдардың өсу процесінің тазалығы мен сапасын айтарлықтай жақсартады.

●  Жылумен басқаруды оңтайландыру

Жылу өткізгіштік пен кедергіні жақсарту: TaC жабындарының салыстырмалы түрде төмен жылу өткізгіштігі мен кедергісі бар, бұл оны жылытқыштарда және басқа жылуды басқару компоненттерінде энергия тиімділігін арттыру және энергия жоғалуын азайту үшін қолдануға мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндік жұмыс тиімділігін арттырып қана қоймайды, сонымен қатар материалдың шаршауын және қызып кетуден болатын зақымдануды азайтады.