Қатты кремний карбиді қолданады

Қатты кремний карбиді SIC - бұл кремнийден (Si) және көміртегі (C) -ден тұратын жетілдірілген керамикалық материалдар. Бұл табиғатта кеңінен табылған зат емес және әдетте жоғары температуралы синтезді қажет етеді. Оның физикалық және химиялық қасиеттерінің ерекше үйлесімі оны экстремалды ортада, әсіресе жартылай өткізгіштермен жақсы өткізетін негізгі материалға айналдырады.

Ⅰ. Қатты кремний карбидінің негізгі физикалық қасиеттері (қатты SIC)

▶ Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік:

СИК-тің қаттылығы шамамен 9-9,5, тек алмазға дейін. Бұл оны керемет сызаттар мен тозуға төзімді етеді және ол механикалық кернеу немесе бөлшектердің эрозиясына төтеп беруі керек ортада жақсы өнер көрсетеді.

▶ жоғары температуралық беріктік пен тұрақтылық

1

2. Оның жылу кеңеюінің төмен коэффициенті оның мөлшері жақсы тұрақталғанын білдіреді және температура күрт өзгерген кезде деформацияға немесе бұзылуға бейім емес.

▶ Жоғары жылу өткізгіштік:

Көптеген керамикалық материалдардан айырмашылығы, SIC салыстырмалы түрде жоғары термиялық өткізгіштікке ие. Бұл оны жылуды тиімді өткізуге және таратуға мүмкіндік береді, бұл температураны және біркелкілікті қажет ететін қосымшаларға өте маңызды.

Жоғары химиялық инерстер мен коррозияға төзімділік:

SIC көптеген күшті қышқылдарға, күшті негіздерге және жартылай өткізгіш процестерде (мысалы, плазмалық және хлорлы газдар сияқты плазмалық және хлорлы газдар сияқты), тіпті жоғары температурада да өте күшті қарсылық көрсетеді. Бұл технологиялық камера компоненттерінің коррозиядан немесе ластанған болуына жол бермеу үшін өте маңызды.

▶ Жоғары тазалыққа әлеует:

Таза тазалығы өте жоғары тазалыққа арналған және қатты SIC бөлшектерін нақты өндірістік процестер арқылы шығаруға болады (мысалы, химиялық будың тұндыруы - CVD). Жартылай өткізгіштерде, материалдық тазалық вафлидің ластану деңгейіне және қорытынды өнімнің кірістілігіне тікелей әсер етеді.

▶ Жоғары қаттылық (жас модуль):

SIC-те жас жігіттің модулі бар, демек, бұл өте қиын және жүктеме кезінде деформациялау оңай емес. Бұл бөлшектер мен мөлшерді (мысалы, вафли таситын) ұстау қажет компоненттер үшін өте маңызды.

▶ Бюджет электрлік қасиеттері:

Ол көбінесе изолятор немесе жартылай өткізгіш ретінде пайдаланылады (оның кристалл түріне және допингке байланысты), оның жоғары төзімділігі плазмалық мінез-құлықты басқаруға көмектеседі немесе кейбір компоненттердің қажетсіз дана ағынын болдырмауға көмектеседі.

Ⅱ. Жартылай өткізгіш өндірісінде қатты кремний карбидінің (қатты SIC) артықшылықтары мен артықшылықтары

Жоғарыдағы физикалық қасиеттерге сүйене отырып, қатты SIC әр түрлі дәлдік компоненттеріне шығарылады және жартылай өткізгіштің алдыңғы процестерінің бірнеше кілт сілтемелерінде кең қолданылады.

1) Қатты SIC вафли тасымалы (қатты SIC вафли / қайық):

Қолдану:

Кремнийді вафлиді жоғары температуралы процестерге (диффузия, тотығу, LPCVD - төмен қысымды химиялық бу) тасымалдау үшін пайдаланады.

Артықшылықтарды талдау:

1

2 Оның қызмет ету мерзімі, әдетте, кварц тасымалдаушыларынан бірнеше рет немесе тіпті ондаған рет, олар ауыстыру жиілігі мен техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

3. Химиялық инерстер: Бұл технологиялық атмосферадағы химиялық эрозияға қарсы тұра алады және өз материалдарының жауын-шашынынан болатын вафлидің ластануын азайтады.

4. Жылу өткізгіштік: Жақсы термиялық өткізгіштік тасымалдаушылар мен вафлидің тез және біркелкі жылытуға және салқындатуға, технологиялық тиімділікті және температураның біркелкілігін арттыруға көмектеседі.

5

Пайдаланушының мәні:

Процесттің тұрақтылығын арттыру, өнімнің шығымдылығын арттыру, құрамдас бөлігі немесе ластанудан туындаған уақытты азайтыңыз және ұзақ мерзімді перспективада меншік құқығын азайту.

2) Диск тәрізді қатты / газ душының бастары:

Қолдану:

Реакция жабдықтар камерасының жоғарғы жағында плазма, химиялық бумен тұндыру, химиялық буларды тұндыру (CVD), атомдық қабатты тұндыру (ALD) және т.б., ал төмендегі вафлиге біркелкі таратуға жауапты.

Артықшылықты талдау:

1. Плазма толеранттылық: жоғары энергиялы, химиялық, химиялық плазмалық ортада, SIC душының басында Quartz немесе алюминийден әлдеқайда жоғары плазмалық бомбалауға және химиялық коррозияға өте қатты қарсылық көрсетіледі.

2 Бұл жақсы ұзақ мерзімді тұрақтылыққа ие және деформация немесе бітеліп қалу оңай емес.

3

4

Пайдаланушының мәні:

Процесс нәтижелерінің біркелкілігін және қайталануын едәуір жақсарту, душардың қызмет ету мерзімін ұзартады, техникалық қызмет көрсету уақыты мен бөлшектердің проблемаларын азайтады және озық және қатаң технологиялық жағдайларға қолдау көрсетеді.

3) Қатты SIC фокустық сақинаны (қатты сикді алу - қоңырау / жиек сақинасы):

Қолдану:

Негізінен, негізінен плазма палатасында (мысалы, сыйымдайтын плазмалық плазмалық CCP немесе индуктивті плазмалық плазмалық плазмалық ICP), вафлидің айналасындағы вафлидің шетіне (CHUCK) орналастырылады. Оның функциясы плазманы шектеу және бағыттау, сондықтан камераның басқа компоненттерін қорғау кезінде оның вафли бетіне біркелкі әрекет етуі үшін.

Артықшылықты талдау:

1. Плазмалық эрозияға қатты төзімділік: бұл SIC фокустық сақинаның ең көрнекті артықшылығы. Плазмалармен (мысалы, фтор- немесе хлор бар химиялық заттар сияқты) плазманың агрессивті мөлшерінде, SIC кварцқа, алюминийге немесе тіпті yttria (yttrium оксидіне), тіпті ұзақ өмір сүреді.

2. Сыни өлшемдерді сақтау: жоғары қаттылық және жоғары қаттылық SIC-ке арналған сақиналарда плазмалық морфологияны тұрақтандыруға және біркелкілікті қамтамасыз ету үшін өте маңызды.

3

4. Жоғары тазалық: металл немесе басқа қоспаларды енгізуден аулақ болыңыз.

Пайдаланушының мәні:

Компоненттерді ауыстыру циклдерін едәуір кеңейтіп, техникалық қызмет көрсету шығындары мен жабдықтарды едәуір азайтады; процестердің тұрақтылығы мен қайталануын жақсарту; Ақауларды азайтыңыз және жоғары деңгейлі чип өндірісінің өнімділігін арттырыңыз.

Ⅲ.Қысқаша мазмұндама

Қатты кремний карбиді заманауи жартылай өткізгіштер өндірісіндегі заманауи жартылай өткізгіштердегі негізгі материалдардың бірі болды - бұл физикалық қасиеттері, жоғары балқыту, жоғары термиялық өткізгіштік, жоғары термиялық тұрақтылық, тамаша химиялық тұрақтылық және коррозияға төзімділік. Газ таратуды бақылау үшін душ қабылдайтын, немесе плазманы басқаруға арналған сақина немесе плазмалық сақина чип өндірушілердің керемет өнімділігі мен сенімділігімен күресуге, өндірістің тиімділігі мен өнімділігін арттырады, сондықтан бүкіл жартылай өткізгіш өнеркәсіптің тұрақты дамуына ықпал етеді.

Қытайда берік кремний карбидінің жетекші өндірушісі және жеткізушісі ретінде,Жартылайонсияқты өнімдерҚатты SIC вафли тасымалы / қайық, Қатты SIC Диск тәрізді / газ душының бастары, Қатты SIC қоңырау шалу / жиек сақинасыЕуропада және Америка Құрама Штаттарында кең саталып, осы клиенттерден жоғары мақтау мен танымады. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды шын жүректен күтеміз. Кеңеске қош келдіңіз.

Mob / whatsapp: + 86-180 6922 0752

Электрондық пошта: ann@veteksemi.com