Қатты SIC Диск тәрізді душ

Диск тәрізді душ тәрізді душ тәрізді душтың бастың рөлі CVD процесінде душ тәрізді рөлі - бұл реакциялық газды душ қабылдау аймағының үстіне біркелкі тарату, сондықтан газды реакторға біркелкі және біркелкі пленка алу үшін біркелкі тарату.

Қатты душ душының бастары CVD пештерінің жоғарғы жағында немесе газ құюға жақын орналасқан. Реакция газы душ тәрізді құрылымға душқа бөлінген тесіктер арқылы енеді және душтың бастарының бетіне таратылады. Бірнеше арна дизайны және біркелкі таратылған розеткалар арқылы реакция газы реактордың бүкіл реактор аймағына біркелкі ағып, шоғырланудан аулақ бола алады және турбуленттілікке жол бермейді және субстратқа салынған қабаттың қалыңдығының консистенциясын қамтамасыз етуі мүмкін.

Сонымен бірге, жартылай өткізгіштің душ пішінді душ пішінінің құрылымы диффузиялық әсерге ие, бұл газдың ағынын тиімді түрде төмендетеді, бұл оны саптаманың розеткасында біркелкі азайтуға және тұндыру әсерінен жергілікті газ ағынының өзгеруін азайтуға мүмкіндік береді. Бұл субстратқа тікелей әсер етуді болдырмауға және біркелкі емес тұндыру проблемасына жол бермейді.

Материалдар тұрғысынан, қатты газдың душының бастары жоғары температуралы төзімді, коррозияға төзімді және жоғары тұрақтылықпен берік қатты мед материалынан жасалған. Ол ұзақ уақыт бойы КВД пешінде тұрақты жұмыс істей алады және ұзақ қызмет ету мерзімі бар.

Ветек жартылайдюсторы сапалы арнайы қызметтерді ұсынады. Душ тәрізді душ тәрізді душ тәрізді душ пішінінің пішіні мен саңылауы тұтынушының технологиялық процестеріне сәйкес әр түрлі газ түрлеріне, ағындармен және тұндыру материалдарына бейімделуі үшін икемді түрде түзетілуі мүмкін. Реакторлардың немесе субстрат өлшемдерінің әр түрлі мөлшері үшін, диаметрлі душ тәрізді душ тәрізді бастарын әртүрлі диаметрлі душ тәрізді бастарын газ тарату әсерін оңтайландыруға теңшеуге болады.

Vetek жартылай өткізгіштерінің жетілген процестері және қатты SIC жартылай өткізгіштері үшін жетілдірілген процестер және озық технологиялар бар, олар көптеген клиенттерге CVD процестерінің үздіксіз прогреске қол жеткізуге көмектеседі. Ветек жартылай өткізгіш Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.

Қатты SIC физикалық қасиеттері

Ол жартылай өткізгішДуш тәрізді қатты душ тәрізді