Қатты SiC Эттинг фокустау сақинасы

Vetek жартылай өткізгіші CVD қатты SIC технологиясында үлкен жетістіктерге жетті және қазір қатты дыбыс шығарып, қатты дыбыстық сақинаны әлемге жетекші деңгеймен шығарады. Ветек жартылай өткізгіштің қатты күкірт-сақинасы - бұл фокустық сақинаны химиялық будың тұндыру процесі арқылы жасалған ультра жоғары тазалық кремний карбиді материалдық өнімі.

Қатты SiC сілтілеу фокустау сақинасы жартылай өткізгішті өндіру процестерінде, әсіресе плазмалық оюлау жүйелерінде қолданылады. SiC фокус сақинасы кремний карбиді (SiC) пластинкаларын дәл және бақыланатын оюға қол жеткізуге көмектесетін маңызды компонент болып табылады.

Плазма процесі кезінде фокустық сақина бірнеше рөлдерді ойнатады:

● Плазманы аудару: Қатты SIC фокустау сақинасы плазманы ватманы пішінді пішінді вафлиді біркелкі және тиімді болып қалады. Бұл плазманы қалаған аймаққа қоюға көмектеседі, қоршаған аймақтарға адасу немесе бүлінудің алдын алады.

●  Камера қабырғаларын қорғау: Фокустау сақинасы плазма мен камера қабырғалары арасындағы тосқауыл ретінде әрекет етіп, тікелей жанасуды және ықтимал зақымдануды болдырмайды. SiC плазмалық эрозияға жоғары төзімді және камера қабырғаларын тамаша қорғауды қамтамасыз етеді.

●  Tтемператураны бақылау: Sic фокус сақинасы оюлау процесі кезінде пластинка бойынша біркелкі температураның таралуын сақтауға көмектеседі. Ол жылуды таратуға көмектеседі және локализацияланған қызып кетуді немесе ою нәтижелеріне әсер етуі мүмкін термиялық градиенттерді болдырмайды.

Қатты SiC оның тамаша термиялық және химиялық тұрақтылығына, жоғары механикалық беріктігіне және плазмалық эрозияға төзімділігіне байланысты фокустау сақиналары үшін таңдалады. Бұл қасиеттер SiC-ті плазмалық өңдеу жүйелеріндегі қатал және талап етілетін жағдайлар үшін қолайлы материал етеді.

Айта кетейік, бағыттау сақиналарының дизайны мен техникалық сипаттамалары нақты плазмалық эстраларға арналған жүйеге және технологиялық талаптарға байланысты өзгеруі мүмкін. Vetek жартылай өткізгіш оңтайлы, ұтымсыз және ұзақ өмір сүру үшін фокустау сақиналарының пішінін, өлшемдерін және беттік сипаттамаларын оңтайландырады. Қатты ӘЖК вафли тасымалдаушылар үшін кеңінен қолданылады, сусцепторлар, домми вафли, бағыттаушы сақиналар, процестерге арналған бөліктер, CVD процесі және т.б.