Неліктен SIC жабыны көп көңіл бөледі? - Ветек жартылайдюсторы

Соңғы жылдары электроника өнеркәсібінің үздіксіз дамуымен,Үшінші буын жартылай өткізгішматериалдар жартылай өткізгіш өнеркәсібін дамытудың жаңа қозғаушы күшіне айналды. Үшінші буындағы жартылай өткізгіш материалдардың типтік өкілі ретінде SiC жартылай өткізгіштерді өндіру саласында кеңінен қолданылды, әсіресежылу өрісітамаша физикалық және химиялық қасиеттеріне байланысты материалдар.

Сонымен, SIC жабыны дәл? Және неCVD SIC жабыны?

SiC - жоғары қаттылығы, тамаша жылу өткізгіштігі, төмен жылу кеңею коэффициенті және жоғары коррозияға төзімділігі бар ковалентті байланысқан қосылыс. Оның жылу өткізгіштігі 120-170 Вт/м·К жетуі мүмкін, электронды құрамдас жылуды таратуда тамаша жылу өткізгіштігін көрсетеді. Сонымен қатар, кремний карбидінің термиялық кеңею коэффициенті небәрі 4,0×10-6/К (300–800℃ диапазонында) құрайды, бұл оған жоғары температуралық ортада өлшемдік тұрақтылықты сақтауға мүмкіндік береді, бұл термиялық әсерден туындаған деформацияны немесе бұзылуды айтарлықтай азайтады. стресс. Кремний карбидті жабын деп бөлшектердің бетіне физикалық немесе химиялық буларды тұндыру, бүрку және т.б. арқылы дайындалған кремний карбидінен жасалған жабынды айтады.  

Химиялық булардың тұндыру (CVD)қазіргі уақытта субстрат беттеріне SiC жабындарын дайындаудың негізгі технологиясы болып табылады. Негізгі процесс - газ фазасының реактивтері субстрат бетінде бірқатар физикалық және химиялық реакцияларға ұшырайды және ақырында CVD SiC жабыны субстрат бетінде тұндырылады.

CVD SiC жабынының семдік деректері

Кремний карбиді жабыны өте күшті болғандықтан, жартылай өткізгіш өндірісінің байланысы үлкен рөл атқарды? Жауап - эпитаксистік аксессуарлар.

SIC жабыны материалдық қасиеттері тұрғысынан эпитаксиальды өсу процесіне жоғары сәйкестігінің негізгі артықшылығы бар. Төменде SIC жабынының маңызды рөлдері мен себептері келтірілгенSIC жабынының эпитаксиалды сезімталдығы:

1. Жоғары жылу өткізгіштік және жоғары температураға төзімділік

Эпитаксиалды өсу ортасының температурасы 1000 ° C-тан жоғары болуы мүмкін. SiC жабыны өте жоғары жылу өткізгіштікке ие, ол жылуды тиімді таратады және эпитаксиалды өсудің температуралық біркелкілігін қамтамасыз етеді.

2. Химиялық тұрақтылық

SIC жабыны химиялық инерстерге ие және коррозиялық газдармен және химиялық заттармен коррозияға қарсы тұра алады, бұл эпитаксиалды өсу кезінде реактивтермен теріс әсер етпейді және материалдық беттің тұтастығын сақтайды.

3. Сәйкес торлы торлы

Эпитаксиальды өсуде, SIC жабыны корпустық құрылымына байланысты түрлі эпитакситтік материалдармен жақсы сәйкес болуы мүмкін, бұл тордың сәйкес келмеуіне едәуір азаяды, оларда кристалды ақауларды азайтады және эпитаксиальды қабаттың сапасы мен өнімділігін арттыруға мүмкіндік береді.

4. Жылу кеңею коэффициенті

SiC жабыны төмен термиялық кеңею коэффициентіне ие және әдеттегі эпитаксиалды материалдарға салыстырмалы түрде жақын. Бұл жоғары температурада материалдың қабығы, жарықтар немесе деформация сияқты проблемаларды болдырмай, термиялық кеңею коэффициенттерінің айырмашылығына байланысты негіз мен SiC жабыны арасында қатты кернеу болмайтынын білдіреді.

5. Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік

SiC жабыны өте жоғары қаттылыққа ие, сондықтан оны эпитаксиалды негіздің бетіне жабу оның тозуға төзімділігін айтарлықтай жақсарта алады және оның қызмет ету мерзімін ұзартады, сонымен бірге эпитаксиалды процесс кезінде негіздің геометриясы мен бетінің тегістігі бұзылмауын қамтамасыз етеді.

SiC жабынының көлденең қимасы мен бетінің кескіні

Эпитаксиалды өндіруге арналған қосалқы құрал болумен қатар,SIC жабыны да осы бағыттарда айтарлықтай артықшылықтарға ие:

Жартылай өткізгіш вафли：Жартылай өткізгіштерді өңдеу кезінде вафлиді өңдеу және өңдеу өте жоғары тазалық пен дәлдікті қажет етеді. SIC жабыны көбінесе вафли, жақшалар мен науаларда қолданылады.

Вафли Тасымалдаушы

Алдын ала қыздыру сақинасы：Алдын ала қыздыру сақинасы Si эпитаксиалды субстрат науасының сыртқы сақинасында орналасқан және калибрлеу және қыздыру үшін пайдаланылады. Ол реакциялық камераға орналастырылған және пластинаға тікелей жанаспайды.

  Алдын ала қыздыру сақинасы

Жоғарғы жарты ай бөлігі реакциялық камераның басқа керек-жарақтарын тасымалдаушы болып табыладыSiC эпитаксистік құрылғысы, бұл температура рекет камерасында бақыланады және реакция камерасына орнатылған. Бұл реакция камерасына орнатылған температура болып табылады және вафлимен тікелей байланысқа түспейді.

Жоғарғы жарты ай бөлігі

Сонымен қатар, жартылай өткізгіш өнеркәсібінде булану үшін еріген, электронды электронды түтік қақпасы, кернеу реттегіші, рентгендік және нейтронға арналған графит монохроматоры, графит субстраттарының әртүрлі пішіндері және Атом сіңіру түтігі жабыны және т.б., SIC жабыны көбінесе маңызды рөл атқарады.

Неліктен таңдауОл жартылай өткізгіш?

Ветек Жартылай өткізгіште біздің өндірістік процестеріміз дәл техниканы нақты инженериямен, мысалы, SIC жабыны өнімдерін өндіруге арналған, мысалы, жоғары өнімділік пен беріктігі барSIC жабылған вафли ұстағышОсылайша, ePI жабыныУльтракүлгін жарықдиодты эпиляциялық қабылдағыш, Кремний карбиді керамикалық жабынжінеSiC жабыны бар ALD сенсоры. Біз жартылай өткізгіш өнеркәсібінің, сондай-ақ басқа салалардың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыра аламыз, тұтынушыларға жоғары сапалы SiC жабынымен қамтамасыз ете аламыз.

Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Моб/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Электрондық пошта: anny@veteksemi.com