SIC жабыны аль-сезімтал

Ол жартылай өткізгішSIC жабыны аль-сезімталатомдық қабатты тұндыруда маңызды рөл атқарады (Аль) Процесс. Оның дәл температураны бақылау, газдың біркелкі бөлінуі, жоғары химиялық төзімділігі және керемет жылу өткізгіштігі Пленканы тұндыру процесінің біркелкілігі мен жоғары сапасын қамтамасыз етеді. Егер сіз көбірек білгіңіз келсе, сіз бізбен бірден кеңес ала аласыз және біз сізге уақытында жауап береміз!

Температураны дәл басқару:

SIC жабыны ALD Susceptor әдетте температураны бақылаудың жоғары дата жүйесі бар. Ол пленканың біркелкілігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін өте маңызды болып табылатын температуралық ортада біркелкі температура ортасын ұстай алады.

Біркелкі газ тарату:

SIC жабынының оңтайландырылған дизайны ALD Susceptor ALD SuckEption процесі кезінде газдың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Оның құрылымында әдетте реактивті газдарды бүкіл вафли бетіне біркелкі қамтуға ықпал ететін бірнеше айналмалы немесе қозғалмалы бөліктер кіреді.

Жоғары химиялық тұрақтылық:

Аль процесі әртүрлі химиялық газдарды қамтиды, өйткені SIC жабыны ALD Susceptor әдетте коррозияға төзімді материалдардан тұрады (мысалы, платина, керамика немесе жоғары тазалық кварц), жоғары температура кварц және жоғары температура ортаына әсер етеді.

Тамаша жылу өткізгіштік:

Жылуды тиімді жүргізу және тұрақты тұндыру температурасын ұстап тұру үшін, SIC жабыны аль-жұптық сезімталдар әдетте жоғары жылу өткізгіштік материалдарын қолданады. Бұл жергілікті қызып кетуден және біркелкі емес тұндыруға көмектеседі.

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері:

Өндірістік дүкендер:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry Желілік：