SIC жабылған вафли ұстағыш

VETEK SEMICONDUDOR's SIC Қондырған вафли ұстаушы әдетте жартылай өткізгіштерді өңдеу кезінде вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады. Бұл жоғары көрсеткішвафли Тасымалдаушыжартылай өткізгіштер өндірісінде кеңінен қолданылады. Киликон карбидінің қабатын қаптау арқылы (SIC)субстрат, өнім субстраттың коррозияға әсерін тигізіп, оны өңдеу процесінің тұрақтылығы мен дәлдік талаптарын қамтамасыз ететін вафлидің коррозияға төзімділігі мен механикалық беріктігін жақсарта алады.

SIC жабылған вафли ұстағышәдетте жартылай өткізгіштерді өңдеу кезінде вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады. Бұл жартылай өткізгіш өндірісінде кеңінен қолданылатын жоғары сапалы вафли. Қабатын жабу арқылыКремний карбид (SIC)субстрат бетіне өнім субстраттың коррозияға тигізіп, коррозияға және коррозияға төзімділігін және механикалық беріктігін жақсарта аладыҚайта қарау процесінің тұрақтылығы мен дәл қажеттіліктерін қамтамасыз ететін вафли тасымалдаушы.

Кремний карбиді (SIC) балқытылған нүктеге жуық, шамамен 2730 ° C-та бар және шамамен 120 - 180 Вт / м / Мм. Бұл қасиет ыстықты жоғары температуралы процестерге тез арада тарата алады және вафли мен тасымалдаушы арасында қызып кетуді болдырмайды. Сондықтан, SIC қапталған вафли ұстаушы әдетте кремний карбиді (SIC) жабылған графит субстрат ретінде қолданылады.

SIC өте жоғары қаттылығымен біріктірілген (виксерлердің қаттылығы шамамен 2500 г.В.), CVD процесі сақталған кремний карбиді (SIC) жабыны тығыз және күшті қорғаныс жабыны қалыптастыра алады, бұл SIC қапталған вафли иесінің тозуға төзімділігін едәуір жақсартады.

Ветек Жартылай өткізгіштің SIC қапталған вафли ұстаушы SIC қапталған графиттен жасалған және қазіргі жартылай өткізгіштің эпитакси процестеріндегі ажырамас негізгі компонент болып табылады. Графиттің керемет жылу өткізгіштігін (жылу өткізгіштік) әрең біріктіреді (жылу өткізгіштік бөлме температурасы бойынша) және механикалық беріктік және механикалық коррозияға төзімділік және кремний карбидінің тамаша температурасы (SIC балқуы шамамен 2730 ° C), қазіргі жартылай өткізгіштік орталықтың қатаң талаптарына сәйкес келеді.

Бұл бір вафли дизайнерінің иесі дәл бақылай аладыЭпитаксиальды процессЖоғары сапалы, жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды шығаруға көмектесетін параметрлер. Оның бірегей құрылымдық дизайны вафли бүкіл процесте ең мұқият және дәлдікпен өңделіп, осылайша эпитаксиальды қабаттың сапасын қамтамасыз етеді және соңғы жартылай өткізгіш өнімнің жұмысын жақсартуды қамтамасыз етеді.

Қытайдың жетекшісі ретіндеSic жабылдыВафли иесі иесі өндірушісі және жетекшісі, Ветек Жартылай өткізгіш сіздің жабдықтарыңызға және технологиялық талаптарға сәйкес жеке өнімдер мен техникалық қызметтерді ұсына алады.Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз боламыз деп үміттенеміз.

CVD кандидаттық кристалды құрылымының SEM деректері

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері

Ветек жартылай өткізгіш SIC Қондырғы вафлиді ұстайтын дүкендер: