Кремний карбиді керамикалық жабыны

Ол жартылай өткізгіш Кремний карбиді керамикалық жабыныБұл өте ауыр және тозуға төзімді кремний карбидінен (SIC) өте жақсы қорғаныс жабыны, ол өте жақсы химиялық коррозияға төзімділік пен жоғары температура тұрақтылығын қамтамасыз етеді. Бұл қасиеттер жартылай өткізгіш өндірісте өте маңызды, сондықтан кремний карбидімен керамикалық жабыны жартылай өткізгіштік жабдықтардың негізгі компоненттерінде кеңінен қолданылады.

Ветек жартылай өткізгішті семитомон өткізгішті жартылай өткізгіш өндірісінде керамикалық жабынмен ойнаған ерекше рөл атқарадыкелесідей:

Жабдықтың беріктігін арттыру: Кремний карбид керамикалық жабыны жартылай өткізгіштік жабдыққа өте жоғары қаттылығы мен тозуға төзімді қамтамасыз етеді. Әсіресе, химиялық бумен тұндыру (CVD) және плазмалық вопинг, кремний карбидінің керамикалық жабыны сияқты жоғары температурада, жоғары коррозиялық ортада химиялық эрозияға немесе физикалық тозуға байланысты, осылайша жабдық бетіне зиян келтіреді және олар жиі ауыстыру және техникалық қызмет көрсетуден туындаған уақытты азайтады.

Технологиялық тазалықты жақсарту: Жартылай өткізгішті өндіріс процесінде кез-келген ұсақ ластану өнімнің ақауларын тудыруы мүмкін. Кремний карбидінің химиялық инерстік керамикалық жабыны төтенше жағдайларда тұрақты болып қалуына мүмкіндік береді, материалдың бөлшектердің немесе қоспалардың шығарылуына жол бермейді және процесс кезінде қоршаған ортаның тазалығын қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе Pecvd және ион имплантациясы сияқты жоғары дәлдік пен жоғары тазалықты қажет ететін қадамдар үшін өте маңызды.

Жылуды басқаруды оңтайландыру: Жоғары температуралы жартылай өткізгіштерді, мысалы, тез термиялық өңдеу (RTP) және тотығу процестері, кремний карбидінің жоғары жылу өткізгіштігі жабдықтың ішіндегі температураның жоғары деңгейіне мүмкіндік береді. Бұл температуралық стрессті және температураның ауытқуынан туындаған материалдық деформацияны азайтуға көмектеседі, осылайша өнімді өндірудің дәлдігі мен консистенциясын жақсартады.

Күрделі технологиялық орталық: Күрделі атмосфералық бақылауды қажет ететін процестерде ICP иілу және PSS, мысалы, кремний карбидті керамикалық керамикалық жылытқыштың тұрақтылығы мен тотығу кедергісі, бұл жабдықтың тұрақтылығы мен тотығуларға төзімділігі, қоршаған ортаға әсер етуге байланысты материалдық деградация немесе жабдықтардың бүліну қаупін азайтады.

Ол жартылай өткізгішӨндіріске және жоғары көрсеткіштерге сүйенуге бағытталғанКремний карбиді керамикалық жабыныжәне жартылай өткізгіш өнеркәсіптің озық технологиялары мен шешімдерін ұсынуға тырысады.Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз боламыз деп үміттенеміз.

Негізгі физикалық қасиеттеріКремний карбиді керамикалық жабыны:

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбиді Карбидті керамикалық жабындар:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry Желілік: