Карбид вафлиі Чак

Ветек жартылай өткізгіш кремний көмірсутегі вафли Чак Жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарына жауап беретін кремний карбид материалдарының керемет қасиеттерін, әсіресе жартылай өткізгіштерді өңдеуге, әсіресе жоғары дәлдік пен сенімділікті талап етеді.

Жартылай өткізгіштерді өңдеу процесінде,Кремний карбидіЖоғары температураға төзімділігі жоғары (тұрақты жұмыс істей алады), төмен өткізгіштік (SIC салыстырмалы түрде төмен өткізгіштікке ие, әдетте 10 ^^-3S / M) және төмен жылу кеңейту коэффициенті (шамамен 4,0 × 10 ^)^-6/ ° c), бұл, бұл, бұл, әсіресе, кремний карбид вафирін өндіруге жарамды және маңызды материал болып табылады.

КезіндеЭпитаксиалды өсу процесі, жартылай өткізгіш материалдың жұқа қабаты субстратқа сақталады, вафлиден абсолютті тұрақтылықты қажет етеді, бұл вафлиден абсолютті тұрақтылықты қажет етеді. SIC вакуумдық Чак бұл вафлидің кез-келген қозғалысының немесе деформациясының алдын алу үшін вакуумды тұрақты, дәйекті түрде ұстап тұрыңыз.

Силикон Карбид Вафли Чак сонымен қатар термиялық шокқа өте жақсы қарсылық ұсынады. Жартылай температураның жылдам өзгерістері жартылай өткізгішті өндірісте жиі кездеседі, ал осы ауытқуларға төтеп бере алмайтын материалдар жарылып, иіліп немесе сәтсіздікке ұшырауы мүмкін. Кремний карбиді жылу кеңеюінің төмен коэффициентіне ие және оның пішінін және оның пішінін және оның пішінін сақтай алады, тіпті температураның өзгеруіне қарамастан, вафлидің эпитакси процесінде қозғалыссыз немесе сәйкес келмейтіндігін қамтамасыз етеді.

Сонымен қатар,Эпитакси процесіКөбінесе реактивті газдар мен басқа да коррозиялық химикаттарды қамтиды. SIC WAFER CHUCH химиялық инерстегі оның бұл қатал ортаға әсер етпейтінін және оның қызмет ету мерзімін ұзартуды қамтамасыз етеді. Бұл химиялық беріктік вафлиді алмастыру жиілігін азайтып қана қоймайды, сонымен қатар бірнеше өндірістік циклдардан асып түседі, сонымен қатар жартылай өткізгішті өндіріс процесінің жалпы тиімділігі мен экономикалық тиімділігін арттыруға көмектеседі.

Ветек жартылайдюсторы - Қытайдағы кремний карбид вафли-Чак өнімдерінің жетекші өндірушісі және жеткізушісі. Біз сияқты әр түрлі түрдегі өнімдерді ұсына аламызКеуекті сиктік керамикалық Чак, Кеуекті Sic вакуумы, Кеуекті керамикалық вакуумдық шұңқыржінеTAC жабылған Chuckжәне т.с.с. Ветек Жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өнеркәсіптің озық технологиялары мен шешімдерін ұсынуға дайын. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.

SEM деректері CVDSIC фильмі кристалды құрылымы：

Ветек Жартылай өткізгіш кремний карбид вафли-Чак дүкендері：