CVD SIC жабыны қыздыру элементі

CVD SIC жабыны қыздыру элементі негізінен PVD (физикалық будың тұндыру) жабдықтарында қолданылады. Булану процесінде материал булану немесе шашырату үшін жылытылады, ал соңында, субстратта бірыңғай жұқа қабық пайда болады.

Ⅰ.Нақты қосымша

Жіңішке пленканы тұндыру: CVD SIC жабыны қыздыру элементі булану көзінде немесе шашыратқыш көздерінде қолданылады. Қыздыру арқылы, элемент материалды жоғары температураға салынады, сондықтан оның атомдары немесе молекулалары материалдың бетінен бөлінген, осылайша бу немесе плазманы қалыптастырады. Біздің қыздыру элементімізде SIC жабыны сонымен қатар металл немесе керамикалық материалдарды буландыру үшін немесе вакуумдық ортаға PVD процесінде қолдануға арналған вакуумдық ортаға айналдыруы мүмкін. Құрылымда концентрлік ойықтар болғандықтан, жылудың біркелкілігін қамтамасыз ету үшін ағымдағы жол мен жылу таратуды жақсы басқаруы мүмкін.

PVD булануының схемалық диаграммасы

Ⅱ.Жұмыс принципі

Резистивті қыздыру, егер ағымдық SIC жабылған жылытқыштың қарсылық жолынан өткен кезде, джоула жылытқышы жасалынған кезде, осылайша жылу әсеріне қол жеткізіңіз. Концентрлік құрылым ағымға біркелкі бөлуге мүмкіндік береді. Температураны басқару құрылғысы әдетте температураны бақылау және реттеу үшін элементке қосылады.

Ⅲ.Материалдық және құрылымдық дизайн

CVD SIC жабыны қыздыру элементі жоғары температуралы ортаға төтеп беру үшін жоғары сапалы графиттен және SIC жабынынан жасалған. Жоғары тазалық графиттің өзі термиялық дала материалы ретінде кеңінен қолданылады. Графит бетіне CVD әдісі бойынша жабынды қабат қолданылғаннан кейін, оның жоғары температуралы тұрақтылығы, коррозияға төзімділігі, жылу тиімділігі және басқа да сипаттамалары одан әрі жетілдірілген.

Концентрлік ойықтардың дизайны ағымға дискідегі біркелкі цикл жасауға мүмкіндік береді. Бірыңғай жылу таратуға қол жеткізеді, жергілікті жердегі шоғырланудан аулақ болады, белгілі бір салалардағы шоғырланудан аулақ болады, ағымдағы шоғырланудан туындаған қосымша жылу шығынын азайтады, осылайша жылу тиімділігін арттырады.

CVD-ді жылыту элементі екі аяғынан және денесінен тұрады. Әр аяғы қуат көзіне қосылатын жіп бар. Ветек жартылай өткізгіш бір бөлшек бөліктер немесе бөлшек бөліктерін жасай алады, яғни аяқтар мен денелер бөлек жасалып, содан кейін жиналады. CVD SIC жабылған жылытқыштың қандай талаптарын орындамаса да, бізге кеңес алыңыз. Ветексеми сізге қажетті өнімдерді ұсына алады.

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері: