кремний карбиді керамикалық жабын графиті жылытқышы

Ол жартылай өткізгіш Кремний карбиді керамикалық жабын графиті жылытқышыГрафиттің керемет электрлік және жылу өткізгіштігін жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және кремний көмірқышқылымен күрделенудің тозуына және жартылай өткізгіштік ортаға арналған. 

Кремний карбиді керамикалық жабын графиті жылытқышынегізінен вакуумдық жабын (булану) жабдықтарында қолданылады, және жиі қолданылатын әдістер PCD (плазмалық химиялық кептіру) және PVD (физикалық будың тұнбасы). Бұл өнім технологиялық прогресті алға жылжытуда және жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі өндіріс тиімділігін арттыруда маңызды рөл атқарды.Біз сіздермен одан әрі ынтымақтастықты шын жүректен күтеміз.

Кремний карбидті керамикалық жабын графит жылытқышының материалдық және құрылымдық ерекшеліктері келесідей:

Графит субстраты: Графит өзінің жоғары жылу өткізгіштікімен және жылу кеңейту коэффициентімен танымал. Бұл температураға өзгерістерге тез жауап бере алады және жоғары температурада құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады.

Кремний көміртегі керамикалық жабыны: SIC жабыны графит бетіне химиялық бумен тұндыру немесе басқа да алдыңғы қатарлы процестер арқылы біркелкі жабылған. СИК өте жоғары қаттылығы және химиялық коррозияға төзімділігі бар, ол графит субстратын жоғары температуралы тотығу және коррозиялық орталардан қорғайды.

Кремний карбидінің арнайы дизайны Керамикалық жабын графит жылытқышы анықтайдыБұл өнімнің өндірілген өнімнің жартылай өткізгішті өңдеу процесінде артықшылығы:

Тиімді және біркелкі жылу:

Жылу өткізгіштік: Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі жылытқышқа қажетті температураны тез арада және ұстап тұруға мүмкіндік береді, ал SIC жабыны жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе температураны, мысалы, тез термиялық өңдеуді (RTP) және химиялық будың тұндыруын қажет ететін жартылай өткізгіш процестер үшін өте маңызды (CVD).

Температураның біркелкілігі: Біркелкі жылу бөлу арқылы кремний карбиді Керамикалық жабын графит жылытқышы жылу процесі кезінде жартылай өткізгіш вафлидің дәйектілігі мен сапасының тұрақтылығын қамтамасыз ететін жылу кереметі мен температуралық градиентті тиімді түрде азайтады.

Коррозияға қарсы қорғаныс:

Химиялық тұрақтылық: SIC жабынының химиялық коррозияға төзімділігі графит субстратының зақымдалуын болдырмауға мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндік, әсіресе химиялық будың тұндыру (CVD) және плазмалық жақсартылған химиялық будың (PECVD) сияқты процестерде өте маңызды.

Тотығу кедергісі: Жоғары температурада, SIC жабыны графит субстратының тотығуының алдын алады, жылытқыштың қызмет ету мерзімін ұзартып, жабдықтың жұмысын қамтамасыз ету жиілігі мен құнын азайтуға болады.

Бөлшектердің ластануын азайту:

Беттік тұрақтылық: SIC жабыны тек тозуға төзімді емес, сонымен қатар бөлшектердің жылу велосипедіне немесе химиялық реакцияларға байланысты материалдық бетіне құлап кетуіне жол бермейді, осылайша жартылай өткізгіштер өндірісі кезінде пайда болуы мүмкін бөлшектердің ластану қаупін азайтады және тазалық технологиялық орталық жағдайын қамтамасыз етеді.

Технологиялық сенімділігі мен тиімділігін арттыру:

Ұзақ уақыт бойы дизайн: Графиттің механикалық беріктігі мен SIC жабынының тозуының үйлесіміне байланысты, кремний карбидті керамикалық жабын графиті графитті жылытқышы, жабдықтың жалпы сенімділігін едәуір жақсартады.

Энергияны тиімді пайдалану: Графиттің жоғары жылу өткізгіштігі және SIC жабынының жоғары температуралы тұрақтылығы жылытқышқа температураны бақылаудың дәлдігін жақсарту кезінде энергияны тұтынуды азайтуға мүмкіндік береді, осылайша жартылай өткізгіш өндірісінің тиімділігін арттырады.

Негізгі физикалық қасиеттеріКремний карбиді керамикалық жабын графиті жылытқышы:

Ол жартылай өткізгішКремний карбиді керамикалық жабын графиті жылытқышыДүкендер:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry Желілік:

/ Басқа процесс