кремний карбиді керамикалық жабыны

Ол жартылай өткізгішКремний карбиді керамикалық жабыны - бұл жоғары температура мен қатал ортаға арналған жылытқыш. Бұл жабдықты жылытуға, коррозияға төзімділікті, коррозияға төзімділігі мен жылу өткізгіштігін беру үшін қыздыру элементінің бетіне кремний көміртегі қабаттарының қабатын (SIC) қабат салыңыз. 

Кремний карбиді керамикалық жабынынегізінен вакуумдық жабын (булану) жабдықтарда қолданылады. Жартылай қолданылған әдістер - бұл PCD (плазмалық химиялық кептіру) және PVD (физикалық бумен кептіру) және жартылай өткізгіштер өндірісі және басқа да сұранысқа ие өнеркәсіптік қосымшаларда кеңінен қолданылады.

Кремний карбиді керамикалық жабынының жылытқышының жоғары өнімді жабынымен үйлеседі,Ол жоғары температуралы процестер үшін керемет жылыту шешімін ұсына алады.

Тамаша жылу өткізгіштік: SIC материалы жылытқыштың жұмыс аймағында біркелкі жылу үлестірілуіне және температуралық градиенттерді азайтуға мүмкіндік беретін керемет жылу өткізгіштікке ие.

Біркелкі жылу бөлуді қамтамасыз етіңіз: Карбид Карбид Кербидті жылытқыш жылу аймағында температураның біркелкі таралуына қол жеткізу үшін SIC материалдарының жоғары жылу өткізгіштігін қолданады. Жартылай өткізгіш вафлиді жедел жылу өңдеу (RTP), диффузия (RTP), диффузия және тотығу, диффузия және тотығу, жергілікті қызып кету немесе біркелкі емес температурадан аулақ болу үшін өте маңызды.

Жоғары температуралы толеранттылық: SIC жабыны жылытқышқа өте жоғары температураға төтеп беруге мүмкіндік береді, әдетте, 1600 ° C-қа дейін, әр түрлі жоғары температуралы өңдеу процестеріне жарамды.

Жылуға төзімділікті жақсарту: Қаптау өте жоғары температураға төтеп бере алатындықтан, ол ұзақ мерзімді жоғары температуралы жұмыс істеуді қажет ететін процестерде жақсы орын алады. Мысалы, химиялық бумен тұндыру (CVD) процестерінде кремний карбидтер керамикалық жабыны жылытқышы жоғары температурада жабдықтың ұзақ мерзімді тұрақты жұмысын қамтамасыз етеді және жаттығулардың тұрақты жұмысын қамтамасыз етеді, осылайша технологиялық процестерді және сенімділікті жақсартуға мүмкіндік береді.

Химиялық коррозияға төзімділік: SIC жабыны қышқылға, сілтілі және коррозиялық газдарға өте жоғары қарсылыққа ие және жабдықтардың өмірін ұзартуға, кешенді химиялық атмосфералық ортада тұрақты тұруға мүмкіндік береді. 

Жабдықтың өмірін ұзарту: SIC жабыны тотығуға төзімділік пен коррозияға төзімділігі жоғары және жоғары температурада химиялық эрозия мен тотығуға тиімді тұра алады. Бұл жартылай өткізгішті шығару процесінде өте маңызды, әсіресе коррозиялық газдар мен химиялық заттарды өңдейтін ортада. Қаптаудың қорғаныс әсері жылытқыштың қызмет ету мерзімін едәуір кеңейтіп, жабдықты ауыстыру жиілігін және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтуға мүмкіндік береді.

Крембидті карбидтің керамикалық жабынының негізгі физикалық қасиеттері:

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбиді Карбидті керамикалық жабыны:

Vetek жартылай өткізгіштігіне шолу Epitaxy Industry Желілік: