Душ еті

Ветек жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өнеркәсіпке душ душының жетілдірілген басын ұсынады. Кремний карбид материалдары жақсы жылу, электрлік және химиялық қасиеттердің ерекше үйлесімі бар, оларды жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі қосымшалар үшін өте жақсы, өнімділігі жоғары материалдар қажет. Vetek жартылайдюсторы CVD қатты SIC технологиясында ұзақ жинақталған тәжірибеге ие. Ветек Жартылай өткізгіштің революциялық технологиясы SIC душының бастарын, ультра жоғары тазалық кремний карбидін, химиялық будың тұндыру процесі арқылы жасалған ультра жоғары тазалық материалын өндіруге мүмкіндік береді.

Душ душының бастығы - жартылай өткізгіш өндірісіндегі маңызды компонент, сонымен қатар MOCVD жүйелері, кремний эпитаксиі жәнеСиріктіЭпитакси процестері. Берік жасалғанҚатты кремний карбиді (SIC), Бұл компонент плазмалық өңдеудің төтенше жағдайларына және жоғары температуралы қосымшаларға төтеп бере алады.

Кремний карбид (SIC)Оның жоғары жылу өткізгіштігі, химиялық коррозияға төзімділігі және ерекше механикалық беріктікпен және ерекше механикалық беріктікпен танымал, бұл оны SIC душының басы сияқты үлкен көлемдегі компоненттер үшін тамаша материал. Газ душының бастығы жоғары сапалы эпитаксилі қабаттарды шығару үшін қажет технологиялық газдардың таралуын қамтамасыз етеді. Жиі, CVD-SIC-тен жасалған сақиналар мен жиек сақиналары, біркелкі плазмалық таралуын және ластанудан қорғайды, эпитаксиальды өсудің тиімділігі мен шығымдылығын арттырады.

Газ ағынының дәлдігі мен ерекше материалдық қасиеттерімен, SIC душының бастығы заманауи жартылай өткізгішті өңдеудегі негізгі компонент болып табылады, бұл заманауи жартылай өткізгіштерді өңдеудің негізгі компоненті, бұл кремний эпитаксиіндегі және SIC Epitaxy-де қосымша қосымшалар.

Ветек жартылайдюсторы төмен төзімді кремний карбидінің жартылай өткізгішті душын ұсынады. Бізде инженер және жеткізілім мүмкіндігі барЖетілдірілген керамикалық материалдарәр түрлі ерекше мүмкіндіктерді пайдалану.