Қатты SiC газды душ басы

Қатты SIC газ душының бастары

VeTek Semiconductor – зерттеуге, өндіруге және сатуға арналған біріктірілген компания. VeTek Semiconductor көптеген жылдар бойы жартылай өткізгішті эпитаксиямен, ою-өрнекпен және процеске қатысты басқа өнімдермен жұмыс істейді, әсіресе CVD SiC жабыны, CVD TaC жабыны және CVD Solid SiC біздің жетекші өнімдеріміз.

VeTek Semiconductor Soid SiC газды душ басы әдетте жартылай өткізгіш CVD процестері кезінде прекурсорлық газдарды субстрат бетіне біркелкі тарату үшін қолданылады. Душ бастиектері үшін CVD-SiC материалын пайдалану бірнеше артықшылықтар береді. Оның жоғары жылу өткізгіштігі CVD процесінде пайда болатын жылуды таратуға көмектеседі, бұл субстратта температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, CVD sic душ басының химиялық тұрақтылығы CVD процестерінде жиі кездесетін коррозиялық газдар мен қатал орталарға төтеп беруге мүмкіндік береді. 

CVD SiC душ бастиектерінің дизайны арнайы CVD жүйелеріне және технологиялық талаптарға бейімделуі мүмкін. Дегенмен, олар әдетте бірнеше дәлдікпен бұрғыланған тесіктер немесе ойықтары бар пластина немесе диск тәрізді құрамдас бөліктен тұрады. Саңылаудың үлгісі мен геометриясы субстрат бетінде біркелкі газ таралуын және ағынның жылдамдығын қамтамасыз ету үшін мұқият жасалған.

Қатты SiC физикалық қасиеттері