Химиялық будың тұндыру процесі Қатты сиктік жиек сақинасы

CVD процесі Қатты SIC шеткі сақинасы:

● Материал: Фокустау сақинасы қатты мөлшерден, жоғары тазалық және жоғары сапалы керамикалық материалдан жасалған. Оны химиялық будың тұндыру арқылы дайындайды. Қатты SIC материалы ерекше беріктікті, жоғары температураға төзімділікті және керемет механикалық қасиеттерге ие.

●  Артықшылықтары: CVD SIC RAD құрғақ жылу тұрақтылығын ұсынады, сонымен қатар құрғақ этчинг процестерінде кездескен жоғары температуралық жағдайларға сәйкес оның құрылымдық тұтастығын сақтайды. Оның жоғары қаттылығы механикалық кернеу мен тозуға төзімділікті қамтамасыз етеді, қызмет ету мерзімі ұзартылған өмірге әкеледі. Оның үстіне, қатты ӘЖК химиялық инертті ұсынады, оны коррозиядан қорғайды және уақыт өте келе оның жұмысын қамтамасыз етеді.

CVD SIC жабыны:

●  Материал: CVD SIC жабыны - химиялық будың тұндыру (CVD) әдістерін қолдана отырып, SIC жұқа қабықшасы. Қаптау графит немесе кремний, мысалы, графит немесе кремний сияқты субстрат материалына қолданылады, мысалы, SIC-тің бетіне арналған.

●  Салыстыру: CVD SIC жабындары бірқатар артықшылықтарды ұсынады, мысалы, күрделі пішіндер мен бапкерлі пленкалық қасиеттерге конформды тұндыру сияқты, олар қатты SIC-тің берік және өнімділігіне сәйкес келмеуі мүмкін. Қаптау қалыңдығы, кристалды құрылымы, бетінің кедір-бұдырлығы жабынның беріктігіне және жалпы жұмысына әсер ететін CVD процесс параметрлеріне байланысты өзгеруі мүмкін.

Қорытындылай келе, Ветек жартылай өткізгішті қатты сиктік фокустық сақина - құрғақ этчтер үшін ерекше таңдау. Оның қатты мөлшері жоғары температураға төзімділікті, өте жақсы қаттылықты және химиялық инерсті, оны сенімді және ұзаққа созылатын шешім береді. CVD SIC жабынында икемділік барысында, CVD SIC сақинасы құрғақ этчинг процестерін талап ету үшін қажетті беріктік пен өнімділікке жатады.

Қатты SIC физикалық қасиеттері