CVD кремний карбиді (SiC) жабыны бар графитті душ басы

Негізгі мүмкіндіктер

• Өте жоғары тазалық – SiC жабыны графитті толығымен жабады, сондықтан газдың шығуы немесе металл ластануы болмайды.

• Газды тамаша бөлу – Әрбір душ басы бүкіл вафли бойынша тұрақты газ жылдамдығын жеткізу үшін өңделеді.

• Жоғары коррозияға төзімділік – CVD SiC галогендермен немесе технологиялық қалдықтармен әрекеттеспейді. Ол жалаңаш графитке немесе кварцқа қарағанда әлдеқайда ұзағырақ қызмет етеді.

• Керемет термиялық өнімділік – жабын графиттің термиялық кеңеюіне сәйкес келеді, сондықтан жылдам температура рампалары кезінде крекинг болмайды.

• Дәл өндіріс – Біз CNC өңдеуді және үйдегі CVD жабынын қолданамыз. Саңылаулардың диаметрлері мен үлгілері қатаң төзімділікте ұсталады.

Техникалық сипаттамалар

Қолданбалар

Бұл душ кабиналары келесі жағдайларда қолданылады:

• Жартылай өткізгішті CVD жүйелері (өндірістік және ҒЗТКЖ)

• PECVD жабдығы – төмен температуралы диэлектриктер

• MOCVD реакторлары – GaN, InP сияқты III‑V қосылыстары

• Кремний эпитаксисі (Si Epi) – қуат құрылғылары мен CMOS үшін

• SiC эпитаксисі – жоғары вольтты қуат электроникасы

• Құрама жартылай өткізгіштер

• Жетілдірілген орау (мысалы, TSV лайнерін тұндыру)

• Коррозияға төзімді, жоғары таза газ дистрибьюторын қажет ететін кез келген жұқа пленкалы құрал

Неліктен VETEK таңдау керек?

• Біз сауда компаниясы емеспіз. Барлығы – графитті өңдеуден бастап соңғы CVD SiC жабынына дейін – үйде жасалады. Яғни, біз сапаны, жеткізу уақытын және құнын бақылаймыз.

• Толық ішкі өндіріс – аутсорсингтің тосынсыйлары жоқ

• Жетілдірілген жабын технологиясы – тығыз, саңылаусыз CVD SiC

• Арнайы инженерлік қолдау – бізге душ басының сызбасын немесе жай реактор үлгісін жіберіңіз

• Сенімді жартылай өткізгіштерді жеткізу тізбегі – біз көптеген жылдар бойы зауыттар мен OEM өнімдерін жеткізіп келеміз

• Әр жолы жаңа дизайнды қайта бағалаудың қажеті жоқ. Біз көптеген жалпы платформалар үшін (AMAT, TEL, LAM, ASM және т.б.) душ кабиналарын қаптап қойдық.