SiC қапталған графитті тигель дефлекторы

VeTek Semiconducotr - Қытайдың кәсіби SiC жабыны бар графит тигельді дефлектор өндірушісі және жеткізушісі. SiC қапталған графит тигель дефлекторы монокристалды пеш жабдығының маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, оның міндеті балқытылған материалды тигельден кристалдың өсу аймағына біркелкі бағыттау, монокристалды өсу сапасы мен пішінін қамтамасыз ету.

Біздің SiC қапталған графит тигель дефлекторының функциялары:

Ағынды басқару: ол балқытылған кремнийдің ағынын Цочральск процесінде, балқытылған кремнийдің біркелкі таралуын және бақыланатын қозғалысын кристалды өсуді қамтамасыз ету үшін бағыттайды.

Температураны реттеу: бұл балқытылған кремнийдің температурасын реттеуге, кристалл өсудің оңтайлы жағдайларын қамтамасыз етуге және монокристалды кремнийдің сапасына әсер етуі мүмкін температуралық градиенттерді азайтуға мүмкіндік береді.

Ластанудың алдын-алу: балқытылған кремний ағынын бақылау арқылы ол кремді немесе басқа көздерден ластанудың алдын алуға көмектеседі, ол жартылай өткізгіш қосымшаларға қажетті жоғары тазалықты сақтайды.

Тұрақтылық: Дефлектор турбуленттілікті азайту және біркелкі кристалдық қасиеттерге қол жеткізу үшін өте маңызды балқытылған кремнийдің тұрақты ағынын ынталандыру арқылы кристалдық өсу процесінің тұрақтылығына ықпал етеді.

Кристаллдың өсуін жеңілдету: Балқытылған кремнийді бақыланатын жолмен бағыттау арқылы дефлектор балқытылған кремнийден бір кристалдың өсуін жеңілдетеді, бұл жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын жоғары сапалы монокристалды кремний пластинкаларын алу үшін өте маңызды.

SIC қапталған графиттің табиғи диаметрінің өнімі

ЕСКЕРТПЕ: Қаптау алдында, біз алғашқы тазартуды, қаптаудан кейін екінші тазартуды жүзеге асырамыз.

VeTek жартылай өткізгіштер өндірісі цехы: