Тантал көмірсутегі технологиясы, SIC Epitaxial ластануы 75% төмендеді ме?

Жақында неміс ғылыми-зерттеу институты Fraunhofer IISB зерттеу және әзірлемелерде серпіліс жасадыТантал көмірсутегі жабыны технологиясы, және CVD-ді тұндыру ерітіндісіне қарағанда икемді және экологиялық таза, және коммерцияланған бүріккіш жабыны шешілді.

Сондай-ақ, отандық ветек жартылай өткізгіш осы салада жетістіктерге жетті, толығырақ ақпаратты төменде қараңыз.

Fraunhofer iisb:

Жаңа TAC жабыны технологиясын жасау

5 наурызда БАҚ-қа сәйкесҚұрама жартылай өткізгіш«, Fraunhofer IISB жаңа дамыдыTantalum Carbide (TAC) жабыны технологиясы-Ацкацотта. Технология лицензиясы Ниппон Корнмейер көміртегі тобына (NKCG) берілді, және NKCG олардың клиенттеріне TAC жабылған графит бөліктерін бере бастады.

Өнеркәсіптегі TAC жабындарын өндірудің дәстүрлі әдісі - бұл химиялық будың тұндыруы (CVD), олар жоғары өндірістік шығындар және ұзақ жеткізу уақыты сияқты кемшіліктерге тап болады. Сонымен қатар, CVD әдісі сонымен қатар компоненттерді қайта жылыту және салқындату кезінде TAC-ны сынуға бейім. Бұл жарықтар уақыт өте келе қатты графитті әшкерелейді және оны ауыстыру қажет.

Таккотаждың жаңашылдығы - бұл су негізіндегі бүріккіш жабыны әдісі, содан кейін температуралық өңдеу әдісі, содан кейін жоғары механикалық тұрақтылық пен реттелетін қалыңдығы бар TAC жабынын қалыптастыруГрафит субстраты. Қаптаудың қалыңдығына 20 мкм-дан 200 мкм-ға дейін түзетуге болады.

Fraunhofer IISB жасаған TAC процесінің технологиясы, қалыңдығы, мысалы, қалыңдығы 35 мкм-ден 110 мкм диапазонында көрсетілгендей жабынды қасиеттерін реттей алады.

Атап айтқанда, Taccotta Spray жабыны келесі негізгі ерекшеліктері мен артықшылықтары бар:

● Экологиялық таза: су негізіндегі бүріккіш жабынымен бұл әдіс экологиялық таза және индустрияландыру оңай;

● икемділік: Taccotta технологиясы CVD-де мүмкін емес, жартылай жабын және компонентті қалпына келтіруге мүмкіндік беретін әр түрлі өлшемдер мен геометрияның компоненттеріне бейімделе алады.

● Танталдың ластануы төмендеді: Таккотаға арналған жабыны бар графит компоненттері SIC Epitaxial өндірісінде қолданылады, ал тантал ластануы бар қорытындылармен салыстырғанда 75% -ға азаядыCVD жабындары.

● Тұрақты тозуға төзімділік: Scratch Tests қаптаманың қалыңдығын жоғарылататындығын көрсетеді, бұл тозу кедергісін едәуір жақсарта алады.

Скретч тест

Технология NKCG коммерциализациялауға, жоғары сапалы графикалық материалдарды және сабақтас өнімдерді ұсынуға бағытталған. Сондай-ақ, NKCG сонымен қатар болашақта ұзақ уақыт бойы Таккота технологиясын дамытуға қатысады. Компания Taccotta технологиясы негізінде графит компоненттерін өз клиенттеріне бере бастады.

Vetek жартылай өткізгіш TAC локализациясын ұсынады

2023 жылдың басында Ветек жартылайдастырన жаңа буынын іске қостыSIC Crystal өсуіЖылу далалық материалдары -Кеуекті танталға арналған карбид.

Баяндамалар бойынша Ветек жартылайдюсторы дамуда серпіліс іске қосылдыКеуекті танталға арналған карбидТәуелсіз технологияны зерттеу және дамыту арқылы үлкен кеуектілікпен. Оның кеуектілігі 75% дейін, халықаралық көшбасшылыққа қол жеткізе алады.