Ган эпитаксиальды міндеттемесі

Ган эпитактикалық сезімтал галлий Нитрид (GAN) эпитаксиалды өсу процесіне арналған және жоғары температуралы химиялық бумен тұндыру (CVD) және металл органикалық бумалық буларды (MOCVD) сияқты кеңейтілген эпитакситтік технологияларға арналған. Сусептор жоғары температура, жоғары температуралы төзімді материалдардан жасалған, жоғары температурада және бірнеше газ ортасында жақсы тұрақтылыққа, алдыңғы қатарлы жартылай өткізгіш құрылғылардың, RF құрылғыларының және жарықдиодты өрістерге сәйкес келетін керемет тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Сонымен қатар, Vetek жартылай өткізгіштің ган эпитаксициялық сезімталдығы бар, оларда келесі өнімнің ерекшеліктері бар:

● Материал құрамы

Жоғары сапалы графит: SGL графиті субстрат ретінде қолданылады, өте жақсы және тұрақты жұмыс істейді.

Кремний карбиді жабыны: Жоғары жылу өткізгіштік, қатты тотығуға төзімділігі, қатты тотығу кедергісі және жоғары қуатты ган аппараттарының өсуі үшін жарамды химиялық коррозияға төзімділік береді. Бұл жоғары температуралы CVD және MOCVD сияқты қатал ортадағы ұзақ қызмет мерзімін және ұзақ мерзімді қызмет көрсетуді көрсетеді, бұл өндіріс шығындары мен техникалық қызмет көрсету жиілігін едәуір төмендетеді.

● Теңшеу

Реттелген өлшем: Vetek жартылай өткізгіш клиенттердің қажеттіліктеріне сәйкес жеке қызметке, өлшемінен тұрадыбадарактжәне вафли шұңқырын реттеуге болады.

● Жұмыс температурасының диапазоны

Ветексеми Ган эпитаксальды сезімтеті жоғары температураның біркелкілі және тұрақтылығын қамтамасыз ететін температураны 1200 ° C дейін төтеп беруі мүмкін.

● қолданыстағы жабдық

Біздің ган эпи сезімтеті негізгі ағымға сәйкес келедіMOCVD жабдықтарымысалы, Aixtron, Veeco және т.б., жоғары дәлдікке сәйкес келедіГан эпитаксиальды процесі.

Ветексеми әрқашан клиенттерге ең қолайлы және керемет ган эпитаксиді сезімталды өнімдерін ұсынуға дайын және ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді. Ветек жартылай өткізгіш сізге эпитакси индустриясында үлкен нәтижелерге қол жеткізуге көмектесетін кәсіби өнімдер мен қызметтерді ұсынады.

CVD SIC Film Crystal құрылымы

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері

Ол жартылай өткізгішГан эпитаксиальды сезімталдық өнімдері дүкендері