Электростатикалық Чак (ESC) дегеніміз не?

Ⅰ. ESC Өнім анықтамасы

Электростатикалық Чак (қысқа уақытқа) - электростатикалық күшті сіңіру және бекіту үшін пайдаланатын құрылғыкремний вафлилерінемесеБасқа субстраттар. Ол плазмалық (плазмалық илемдеу), химиялық будың тұндыру (CVD), физикалық будың тұндыру (PVD), физикалық будың тұндыру (PVD) және жартылай өткізгіш өндірісінің вакуумдық ортасындағы басқа да процестерге қатысты.

Дәстүрлі механикалық арматуралармен салыстырғанда, ЭСК вафлиді механикалық кернеу мен ластанусыз мықтап бекітеді, өңдеудің дәлдігі мен дәйектілігін арттырады және жоғары дәлдікті жартылай өткізгіш процестердің негізгі жабдықтың құрамдас бөліктерінің бірі болып табылады.

Ⅱ. Өнім түрлері (электростатикалық чактардың түрлері)

Электростатикалық Чактар құрылымдық дизайнға, электрод материалдарына және адсорбция әдістеріне сәйкес келесі санаттарға бөлуге болады:

1. Монополс ESC

Құрылым: бір электродтың қабаты + бір жердегі жазықтық

Ерекшеліктер: көмекші гелийді (ол) немесе азот (N₂) оқшаулағыш орта ретінде қажет етеді

Қолдану: SiO₂ және SI₃N₄ сияқты жоғары кедергіні өңдеуге жарамды

2. Биполяр esc

Құрылым: Екі электрод, оң және теріс электродтар керамикалық немесе полимер қабатына тиісінше енеді

Ерекшеліктер: ол қосымша ақпарат құралдарынсыз жұмыс істей алады және жақсы өткізгіштіктік материалдарға жарамды

Артықшылықтары: адсорбция және тезірек жауап беру

3. Термиялық бақылау (ол салқындату esc)

Функция: Артқы жағындағы салқындату жүйесімен (әдетте гелий) біріктірілген, вафлиді бекіту кезінде температура дәл бақыланады

Өтінім: Плазмалық илемдеу және тереңдікті дәл бақылайтын процестерде кеңінен қолданылады

4. Керамикалық escМатериал: 

Алюминий оксиді (Al₂o₃), алюминий нитрид (aln) және кремний нитриді (SI₃N₄) сияқты жоғары оқшаулау керамикалық материалдарымен салыстырғанда (SI₃N₄).

Ерекшеліктері: коррозияға төзімділік, өте жақсы оқшаулау және жоғары жылу өткізгіштік.

Iii. Жартылай өткізгіштердегі ESC қосымшалары 

1

2

3. Esc физикалық будың тұндыруы (PVD) ESC механикалық стресстен туындаған зиянды зақымдануды болдырмау үшін байланыссыз бекітуді қамтамасыз етеді және әсіресе ультра жұқа вафаларды өңдеуге жарамды (<150 мкм).

4

5

Iv. Негізгі техникалық міндеттер 

1. Ұстау күші төмендеуі Сипаттама: 

Ұзақ мерзімді операциядан кейін, электродты қартаю немесе керамикалық беттің ластануына байланысты ESC ұстап тұру күші төмендейді, вафлидің ауысып немесе құлап кетуіне әкеледі.

Шешім: плазмалық тазалау және тұрақты беттік өңдеуді қолданыңыз.

2. Электростатикалық разряд (ESD) Тәуекел: 

Жоғары вольтты бұрмалаулар вафли немесе жабдыққа зақым келтіруі мүмкін.

Зерттеулер: көп қабатты электрод оқшаулау құрылымын жобалаңыз және ESD-ді басу тізбегін конфигурациялау.

3.. Температураның біркелкілік емес себебі: 

Керамиканың термиялық өткізгіштікіндегі ESC немесе айырмашылықтың біркелкі емес салқындауы.

Деректер: температура ауытқуы ± 2 ℃-ден асып кеткеннен кейін, бұл тереңдікті ауытқуы мүмкін, ± 10% ауытқуы мүмкін.

Шешім: жоғары дәлдікті өткізгіштік керамикасы (мысалы, ALN), ол жоғары дәлдікті қысыммен басқару жүйесі (0-15 Торр).

4. Тұндыру ластануы: 

Технологиялық қалдықтары (мысалы, CF₄, SIH₄ DecomPosition өнімдері) esc бетіне, адсорбция сыйымдылығына әсер етеді.

Қарсы шара: Тазалаудың плазмалық тазалау технологиясын қолданыңыз және 1000 вафли іске қосылғаннан кейін күнделікті тазалауды қолданыңыз.

V. Пайдаланушылардың қажеттіліктері мен мәселелері