FAB зауытында қандай өлшеу жабдығы бар? - Ветек жартылайдюсторы

FAB зауытында өлшеу жабдықтарының көптеген түрлері бар. Төменде бірнеше ортақ жабдықтар берілген:

Фотолитографиялық процесті өлшеу жабдықтары

• фотолитографиялық машинаны дәл өлшеу жабдықтары: мысалы, мысалы, ASML-дің туралануды өлшеу жүйесі, ол әр түрлі қабаттағы әр түрлі суперпозицияны қамтамасыз етеді.

• Фоторезисттің қалыңдығы өлшеу құралы: Жарықтың поляризация сипаттамаларына негізделген фоторезисттің қалыңдығын есептейтін эллипометрлер және т.б.

• Adit және AEI анықтау жабдықтары: VIP Optoelectronics-тің тиісті түрде анықтау жабдықтары сияқты фоторезисттің даму әсері мен үлгінің сапасын анықтаңыз.

Процестің өлшеу жабдықтарын алу

• Тереңдік өлшеу жабдықтарын алу: Тереңдіктің шамалы өзгеруін дәл өлшей алатын ақ жарық интерферометрі сияқты.

• Профильді өлшеу құралын игеру: Эффект ақпаратын өлшеу үшін электронды сәуле немесе оптикалық бейнелеу технологиясын пайдалану үшін, мысалы, үлгінің қабырғадағы бұрышы сияқты.

• CD-SEM: Транзисторлар сияқты микроқұрылымдардың мөлшерін дәл өлшеуге болады.

Жұқа пленкалармен тұндыру процесін өлшеу жабдықтары

• Пленка қалыңдығы өлшеу құралдары: Оптикалық дисплематалар, рентген сәулелік және т.б., вафлидің бетінде сақталған түрлі фильмдердің қалыңдығын өлшей алады.

• Фильмді стресстен өлшеу жабдықтары: Пленкада пайда болған күйзелісті вафли бетіне өлшеу арқылы, фильмнің сапасы және оның вафли қойылымына әсері бағаланады.

Допинг процесті өлшеу жабдықтары

• Ионды имплантация дозасы өлшеу жабдықтары: Иондық имплантация дозасын ион имплантациясы кезіндегі сәуле қарқындылығы немесе имплантациядан кейін вафлиде электрлік сынақтар жүргізу сияқты бақылау параметрлері арқылы анықтаңыз.

• Допинг концентрациясы және таратушы өлшеу жабдықтары: Мысалы, екінші ион масс-спектрометрлері (SIMS) және таралуға төзімділік зондтары (SRP) вафлиде допинг элементтерінің концентрациясы мен таралуын өлшей алады.

CMP технологиялық өлшеу жабдықтары

• Жылтырататын түзушекті өлшеу жабдықтары: Жылтыратылғаннан кейін вафли бетінің тегісті өлшеу үшін оптикалық профилометрлер мен басқа да жабдықтарды қолданыңыз.

• Суды кетіруді өлшеу жабдықтары: Жылтырату кезінде шығарылған материалдың мөлшерін анықтаңыз, тереңдігін немесе қалыңдықты жылтыратылғанға дейін және одан кейін вафли бетіне өзгертіңіз.

Вафли бөлшектерді анықтау жабдықтары

• KLA SP 1/2/3/5/7 және басқа жабдықтар: Бөлшектердің ластануын вафли бетіне тиімді түрде анықтай алады.

• Торнадо сериясы: VIP оптоэлектроникасының торнадо сериялы жабдықтары вафлидегі бөлшектер сияқты ақауларды анықтай алады, мысалы, вафли, ақау карталарын шығарады және түзету үшін байланысты процестерге кері байланыс.

• Alfa-X ақылды визуалды тексеру жабдықтары: CCD-AI кескінін басқару жүйесі арқылы вафли кескіндерін ажырата білу және вафли бетіне бөлшектер сияқты ақауларды анықтаңыз.

Басқа өлшеу жабдықтары

• Оптикалық микроскоп: вафли бетіне микроқұрылым мен ақауларды бақылау үшін қолданылады.

• Сканерлеу Электронды микроскоп (SEM): Вафли бетінің микроскопиялық морфологиясын сақтау үшін жоғары ажыратымдылықтағы суреттерді қамтамасыз ете алады.

• Атомдық күш микроскоп (AFM): Вафли бетінің кедір-бұдыры сияқты ақпаратты өлшей алады.

• эллипсометр: Фоторезисттің қалыңдығын өлшеумен қатар, оны жұқа қабықтардың қалыңдығы мен сыну көрсеткіші сияқты параметрлерді өлшеу үшін де қолдануға болады.

• төрт-зондтық сынақшы: Вафлидің кедергісі сияқты электр өнімділігі параметрлерін өлшеу үшін қолданылады.

• рентгендік дифрактометр (XRD): Кристалл құрылымы мен вафли материалдарының стресс жағдайын талдай алады.

• рентгендік фотоэлектронды спектрометр (XPS): Вафли бетінің элементтік құрамы мен химиялық күйін талдау үшін қолданылады.

• Оқалған ион сәулесі микроскоп (FIB): Вафтерлерге микро нано өңдеу және талдау жасай алады.

• Macro Adi жабдықтары: Литографиядан кейін үлгіні ақауларды макро түсіру үшін қолданылатын шеңбер машина сияқты.

• маска ақауларын анықтау жабдықтары: Литография өрнегінің дәлдігін қамтамасыз ету үшін маскадағы ақауларды анықтаңыз.

• Электронды тарату (TEM): вафли ішіндегі микроқұрылым мен кемшіліктерді байқауға болады.

• Сымсыз температураны өлшеу вафли сенсоры: Температураның дәлдігі мен біркелкілігін өлшеу үшін әртүрлі технологиялық жабдықтарға жарамды.