TAC жабыны

Ветек жартылай өткізгіштің TAC жабыны Чак - SIC EPI процесінде ерекше нәтижелерге қол жеткізу үшін тамаша шешім. Тантал көмірсутек жабынымен, жоғары температураға төзімділікпен және химиялық инерстермен, біздің өнім сізге дәл және сенімділігі бар жоғары сапалы кристалдар шығаруға мүмкіндік береді.

TAC Tantalum Carbide - бұл эпитаксиальды жабдықтың ішкі бөліктерінің бетін төгуге жиі қолданылатын материал. Оның келесі сипаттамалары бар:

● Жоғары температураның керемет төзімділігі: Tantalum Carbide жабыны 2200 ° C-қа дейінгі температураға төтеп бере алады, оларды эпитаксиальды реакциялық камералар сияқты жоғары температуралы ортада қолдануға ыңғайлы етеді.

● Жоғары қаттылық: Тантал Карбидінің қаттылығы 2000 HK-ге жетеді, бұл аз тот баспайтын болаттан немесе алюминий қорытпасынан гөрі қиын, бұл бетінің тозуына әсер етуі мүмкін.

● Күшті химиялық тұрақтылық: Тантал көмірсулар жабыны химиялық коррозиялық ортада жақсы өнер көрсетеді және эпитаксиалды жабдық компоненттерінің қызмет ету мерзімін едәуір кеңейте алады.

● Жақсы электр өткізгіштік: Қаптау бетінің электр өткізгіштігі бар, ол электростатикалық шығарылымға және жылу өткізуге ықпал етеді.

Бұл қасиеттер TAC Tantalum Carbide қаптамасын ішкі бұталар, реакциялық камераның қабырғалары, эпитаксиалды жабдыққа арналған қыздыру элементтері сияқты тамаша материал жасайды. Бұл компоненттерді TAC-пен жабу арқылы эпитаксиалды жабдықтың жалпы өнімділігі мен қызмет ету мерзімін жақсартуға болады.

Силикон Карбидке арналған эпитакси үшін, TAC жабыны бөлшектері де маңызды рөл атқара алады. Беттік жабын Тегіс және тығыз, бұл жоғары сапалы кремний карбидті қабықшаларын қалыптастыруға ықпал етеді. Сонымен бірге, TAC-тің керемет жылу өткізгіштігі, жабдықтың ішіндегі температураның таралуының біркелкілігін жақсартуға көмектеседі, осылайша эпитаксиальды процестің температурасын, сайып келгенде, жоғары сапалыСиликон Карбидке эпитаксиалҚабаттың өсуі.

Ветек Жартылай өткізгіштің өнімдері: