TAC жабыны ротациясы Сусептор

Vetek жартылай өткізгіш TAC жабыны Сондай-ақTac неБіздіңЖоғары температураға төзімділігі жоғары (еріту нүктесі 3880 ° C-қа дейін), вафлидің жоғары дәлдігі мен жоғары сапалығын қамтамасыз ететін химиялық тұрақтылық пен коррозияға төзімділікке ие.

TAC жабынының айналуы Сусептор (көміртекті жабынның айналуы Сусептор) - жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын негізгі жабдық компоненті. Ол әдетте орнатыладыХимиялық будың тұнбасы (CVD)Молекулалық сәулелер эпитаксиінің эпитаксиі (MBE) жабдықтары бірыңғай материалды тұндыру мен тиімді реакцияны қамтамасыз ету үшін қолдайды және бұру. Өнімнің бұл түрі субстратпен жабдықталған жоғары температура мен коррозиялық ортадағы жабдықтың жұмысын және жұмысын едәуір жақсартадыТантал көміртегі (TAC) жабыны.

TAC жабыны айналдыру Сусептор әдетте TAC жабыны мен графитінен немесе графит немесе кремний карбидінен, субстрат материалы ретінде тұрады. TAC - бұл өте жоғары балқыту пункті бар ультра жоғары температуралы керамика материалы (балқу 3880 ° C-қа дейін), қаттылық (виккерлер қаттылығы 2000 ш.б.) және жақсы химиялық коррозияға төзімділік. Vetek жартылай өткізгіші CVD технологиясы арқылы субстраттық материалға тантал көміртекті жабыны тиімді және біркелкі жабады.

Айналу Сусептор әдетте жоғары жылу өткізгіштік пен жоғары беріктік материалдарынан (графит) жасаладыкремний карбиді), ол жоғары температуралы ортада жақсы механикалық қолдау және жылу тұрақтылығын қамтамасыз ете алады. Екеуінің тамаша комбинациясы тірек және айналмалы вафлиде TAC жабынының айналуының тамаша өнімділігін анықтайды.

TAC жабынының айналуы Сусептурасы вафлиді CVD процесінде қолдайды және бұрады. ТАК викерлерінің қаттылығы 2000-ға жуық, бұл материалдың бірнеше рет үйкелісіне қарсы тұрып, жақсы тірек рөлін ойнауға мүмкіндік береді, осылайша жақсы қолдау рөлін ойнауға мүмкіндік береді, осылайша реакция газының вафли бетіне біркелкі бөлінеді және материал біркелкі салынуын қамтамасыз етеді. Сонымен бірге, температурада төзімділік пен TAC жабынының коррозияға төзімділігі оны ұзақ уақыт бойы қолдануға мүмкіндік береді, бұл вафли мен тасымалдаушының ластануынан тиімді емес жоғары температурада және коррозиялық атмосферада қолдануға мүмкіндік береді.

Сонымен қатар, TAC жылу өткізгіштігі 21 Вт / м / м. Жылумен өткізетін 21 Вт / м / м. Сондықтан, TAC жабынының айналуы Сусептордың айналуы жоғары температуралы жағдайларға біркелкі қыздыруы және газдың тұндыру процесінің біркелкілігін айналмалы қозғалыс арқылы біркелкі қамтамасыз етеді, осылайша сәйкестік және жоғары сапалы болуы мүмкінвафли өсімі.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны：

TAC жабынының физикалық қасиеттері：

TAC жабыны: