TAC жабыны айналдыру тақтасы

Vetek жартылай өткізгіштерінің TAC жабынының айналу тақтасы LPE EPI Systems, Aixtron Systems, Nuflare Systems, Tel CVD жүйелері, TEL CVD жүйелері, TSI жүйелерінде кеңейтілген және біркелкі құрылымға ие.

● Тамаша механикалық қасиеттері:

Қаттылығы 2300hv дейін, өте жақсы тозуға төзімді.

Қаптау мен субстрат арасындағы адзия күшті, ал оны жою немесе қабығы оңай емес.

Қаптау әлі де жоғары температурада жақсы құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады.

●  Тамаша коррозияға төзімділік:

TAC материалының өзі жақсы химиялық тұрақтылық пен коррозияға қарсы тұрақтылыққа ие.

Ветек жартылай өткізгіштің жабындары әртүрлі агрессивті газ ортасында жақсы жұмыс істейді.

Жабдықтың ішкі бөліктерін коррозияның бұзылуынан тиімді түрде қорғауға болады.

● Жоғары бетті әрлеу:

Ветек жартылайдюсторы қажетті қабат алу үшін дәл жабындық процедураны қолданады.

Төмен бетінің төмен қаттылығы бөлшектердің жиналуын және тұндыруды азайтуға көмектеседі.

● Қаптау консистенциясы жақсы:

Vetek жартылай өткізгіште партиялардың дәйекті өнімділігін қамтамасыз ету үшін дыбыс сапасын бақылау жүйесі бар.

Қаптау қалыңдығы біркелкі бөлініп, жергілікті ақаулар жоқ.

● практикалық практикалық нәтижелер:

Vetek жартылай өткізгіштің TAC жабыны кеңінен танымал эпитаксиалды жабдық өндірушілерде кеңінен қолданылады.

TAC қапталған бұру тақтайшасының физикалық параметрі:

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді қабаты