CVD-дің жабылған графит душының бастары

Veteksemicon CVD-ді душқа арналған душқа арналған графит бастарының бастығы, оның дәлді-инженерлік беті бірыңғай газ таратуды қамтамасыз етеді, бұл вафли арқылы пленкалық тұндыруға қол жеткізуге өте маңызды. ТаSic жабыныТексеру және тотығу кедергісін жақсартып қана қоймай, сонымен қатар қатал процестер жағдайында қызмет ету мерзімін ұзартады.

Жартылай өткізгіштің жартылай өткізгіштерінде кеңінен қолданылады, эпитакси және жұқа пленкамен тұндыру, CVD-дің жабылған графитінің душқа арналған бастары - бұл келесі буынды жартылай өткізгіш өндірісіне жауап беретін сенімді, жоғары тазалық және ұзақ мерзімді компоненттерді іздейтін өндірушілер үшін тамаша таңдау.

Ветексеми CVD CarbiTon Carbide Dessagehege жоғары тазалағыш химиялық бумені тұндырылған кремний карбидінен шығарылады және жартылай өткізгіштер, жарықдиодты және жоғары электроника салаларындағы CVD және MOCVD процестеріне оңтайландырылған. Оның керемет жылу тұрақтылығы, коррозияға қарсы тұрақтылығы және біркелкі газ тарату процесті қайталануы мен шығымдылығын едәуір жақсартатын жоғары температуралы, жоғары коррозиялық ортада тұрақты тұрақты жұмыс істеуді қамтамасыз етеді.

Veteksemicon CVD CIC SIC Қапталған графит душының басының негізгі артықшылықтары

● Ультра жоғары тазалық және тығыздық

CVD-дің душқа арналған душқа арналған бастығы жоғары тазалық квВ-ді қолдану арқылы шығарылады, бұл кез-келген металл қоспаларын алып тастап, материалды тазалықпен қамтамасыз етіңіз. Кілемденбейтін құрылым газдың қондырғыларын және бөлшектердің төгілуіне жол бермейді, оны жартылай өткізгіш эпитаксияға және өте жоғары тазалықты қажет ететін орталық өңдеу процестеріне өте кедергі келтіреді. Дәстүрлі агрегаттармен немесе графит компоненттерімен салыстырғанда біздің өнім жоғары температуралы жұмыс істегеннен кейін де тұрақты жұмыс істейді, тіпті техникалық қызмет көрсету жиілігі мен өндірістік шығындарды азайтады.

● Тамаша жылу тұрақтылығы

Жоғары температурада CVD және MOCVD процестерінде дәстүрлі материалдар термиялық күйзеліске байланысты деформацияға немесе жарылысқа ұшырайды. CVD душтағы душ заты 1600 ° C-қа дейін температураға төтеп береді және жылуды кеңейтудің өте төмен коэффициентіне ие, тез температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді және азаяды. Оның біркелкі жылу өткізгіштігі реакция камерасында температураны таратуды оңтайландырады, вафли және орталықтың арасындағы айырмашылықтарды азайту және пленкалық форманың біркелкілігін арттыру.

● Плазмалық коррозия

Депозиция процестері кезінде, жоғары коррозиялық газдар (мысалы, CF)₄, Cl₂, және HBR) кәдімгі кварц немесе графит компоненттерін тез бұзады. CVD дискісі плазмалық ортадағы ерекше коррозияға қарсы тұрақтылықты көрсетеді, олар әдеттегі материалдардан 3-5 есе. Тұтынушылардың нақты тестілеуі көрсеткендей, 2000 сағат үздіксіз жұмысынан кейін тег-лезде өзгеру ± 1% шегінде, ұзақ мерзімді тұрақты газ ағынын қамтамасыз етуді қамтамасыз етеді.

● Ұзақ өмір және техникалық қызмет көрсету құны

Дәстүрлі графит компоненттері жиі ауыстыруды қажет етеді, ал CVD душының бастары SIC жабылған, тіпті қатал ортада тұрақты жұмыс істейді. Бұл жалпы шығындарды 40% -дан асады. Сонымен қатар, материалдың жоғары механикалық беріктігі өңдеу немесе орнату кезінде кездейсоқ зақымға жол бермейді.

● Экологиялық тізбекті тексеруді растау

Ветексемикон CVD CarbiTon Carbide Deshbide Desthegheadhegy 'Экологиялық тізбекті тексеру өндіріске шикізат жабады, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті және оның жартылай өткізгіштері мен жаңа энергетикалық алқаптарында сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологиялар бар.

Техникалық параметрлер

Жоба	Параметр
Материал	CVD SIC (жабыны опциялары бар)
Диаметрі	100 мм-450 мм (Реттелетін)
Қалыңдығы төзімділік	± 0.05мм
Беттің кедір-бұдырлығы	≤0.2μм
Қолданылатын процесс	CVD / MOCVD / PECVD / EPitaxy

Негізгі бағдарлама өрістері

Өтініш беру бағыты	Типтік сценарий
Жартылай өткізгіш өндірісі	Кремний эпитакси, ган / гаас құрылғылары
Электроника	Epitaxial вафли өндірісі
Жарық диодты индикатор	Mocvd Sapphire субстрат
Ғылыми-зерттеу жабдықтары	Жоғары дәлдікті жұқа пленкалармен тұндыру жүйесі

Экологиялық тізбекті тексеруді растау

Ветексемикон CVD CarbiTon Carbide Deshbide Desthegheadhegy 'Экологиялық тізбекті тексеру өндіріске шикізат жабады, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті және оның жартылай өткізгіштері мен жаңа энергетикалық алқаптарында сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологиялар бар.

Техникалық сипаттамалар, ақ қағаздар немесе сынамалық тестілеу шаралары үшін өтінемінТехникалық қолдау тобына хабарласыңызВетексемиконның сіздің процессіңіздің тиімділігін қалай арттыра алатындығын зерттеу.