TAC жабыны дегеніміз не? - Ветек жартылайдюсторы

TAC жабыны (Тантал көмірсутегі жабыны) бұл химиялық будың тұндыру (CVD) процесі шығарылған жоғары өнімді жабын материалы. Төтенше жағдайлар кезінде TAC жабынының керемет қасиеттеріне байланысты ол жартылай өткізгішті өндіріс процесінде кеңінен қолданылады, әсіресе жоғары температура мен күшті коррозиялық ортаға қажет жабдықтар мен компоненттерде қолданылады. TAC жабыны әдетте субстраттарды (мысалы, графит немесе керамика сияқты) жоғары температурадан, коррозиялық газдар мен механикалық тозумен қорғау үшін қолданылады.

TAC жабынының физикалық қасиеттері

Өнімнің ерекшеліктері және артықшылықтары

● өте жоғары жылу тұрақтылығы:

Мүмкіндік сипаттамасы: TAC жабыны еріген нүктеге ие, ал 3880 ° C-тан асады және температуралық ортада ыдырамай немесе деформациясыз тұрақтылықты сақтай алады.

Артықшылығы: бұл оны жоғары температуралы жартылай өткізгіш жабдықтармен, мысалы, CVD TAC жабыны және TAC COSPERSEPTOR, әсіресе MOCVD реакторларында, мысалы, AIXtron G5 жабдықтары сияқты ажыратылмайтын материал.

● Керемет коррозияға төзімділік:

Мүмкіндік сипаттамасы: TAC өте күшті химиялық инерстерге ие және хлоридтер мен фторидтер сияқты коррозиялық газдардың эрозиясына әсер етуі мүмкін.

Артықшылықтары: жоғары коррозиялық химикаттарға қатысты жартылай өткізгіш процестерде, TAC жабыны жабдық компоненттерін химиялық шабуылдан қорғайды, әсіресе қызмет көрсету мерзімін ұзартады және технологиялық тұрақтылықты жақсартады, әсіресе кремний карбиді вафлиді және басқа да негізгі компоненттерді қолданады.

● Керемет механикалық қаттылық:

Мүмкіндік сипаттамасы: TAC жабынының қаттылығы 9-10 МЕХҚ-ға дейін, бұл оны механикалық тозуға және жоғары температураға төзімді етеді.

Артықшылығы: Жоғары қаттылық қасиеті TAC жабыны, әсіресе жоғары тозу және жоғары стресс ортасында қолдануға жарамды, сонымен қатар қатал жағдайларда жабдықтың ұзақ мерзімді тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

● Төмен химиялық реактивтілік:

Мүмкіндік сипаттамасы: химиялық инерционіне байланысты TAC жабыны жоғары температуралы ортада төмен реактивтілікті сақтай алады және реактивті газдармен қажетсіз химиялық реакциялардан аулақ бола алады.

Артықшылығы: Бұл әсіресе жартылай өткізгішті өндіріс процесінде өте маңызды, өйткені ол технологиялық ортаның тазалығын және материалдардың сапалы тұндыруын қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіштерді өңдеудегі TAC жабынының рөлі

● Негізгі жабдық компоненттерін қорғау:

Функция сипаттамасы: TAC жабыны, мысалы, TAC COINSTOR өндірістік жабдықтарының негізгі компоненттерінде, мысалы, TAC COINSEPSEPSEPTOR, олар төтенше жағдайлар кезінде жұмыс істеуі керек. TAC жабынымен, бұл компоненттер ұзақ уақыт бойы жоғары температурада және коррозиялық газ ортасында зақымдалмай-ақ жұмыс істей алады.

● жабдықтың өмірін ұзартыңыз:

Функция сипаттамасы: AIXTRON G5, TAC жабыны сияқты MOCVD жабдықында жабдық компоненттерінің беріктігін едәуір жақсарта алады және коррозия мен тозуға байланысты жабдыққа техникалық қызмет көрсету және ауыстыру қажеттілігін азайтады.

● Процесттің тұрақтылығын арттыру:

Функция сипаттамасы: жартылай өткізгішті өндірісте, TAC жабыны тұрақты жоғары температуралық және химиялық ортамен қамтамасыз ету арқылы судың біркелкілігі мен дәйектілігін қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе, силикон эпитакси және галлий нитрийі (gan) сияқты эпитаксиальды өсу процестерінде өте маңызды.

● Технологиялық процесті жақсарту:

Функция сипаттамасы: жабдықтың бетіне жабынды оңтайландыру арқылы TAC жабыны процестің жалпы тиімділігін арттыра алады, ақау мөлшерін азайтып, өнімнің шығымдылығын арттырады. Бұл жоғары дәлдікті, жоғары сапалы жартылай өткізгіш материалдар өндірісі үшін өте маңызды.

Жоғары жылулық тұрақтылық, тамаша коррозияға қарсы тұрақтылық, механикалық қаттылық және жартылай өткізгішті өңдеу кезінде TAC жабынымен метеологиялық реактивтіліктің төменгі химиялық реактивтілігі оны жартылай өткізгішті өндіретін жабдықтың компоненттерін қорғау үшін тамаша таңдау жасайды. Жартылай өткізгіш өнеркәсіптің жоғары температураға, жоғары температураға сұранысы, жоғары тазалық және тиімді өндіріс процестерінің жоғарылауы ретінде, TAC жабыны, әсіресе, әсіресе CVD TAC жабыны, TAC COINSCEPTOR және AIXTRON G5-ге қатысты жабдықтар мен процестерде.

Vetek Semicondudor Technology Co., Ltd - жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған кеңейтілген жабын материалдарының жетекші жеткізушісі. Біздің компания сала үшін заманауи шешімдерді әзірлеуге назар аударады.

Біздің негізгі өнімдерімізге кіредіCVD кремний карбиді (SIC) жабындары, Тантал Карбид (TAC) жабындары, SIC, SIC ұнтақтары, SIC жабынды графиттер, графитті гипсепторлық, алдын ала жабылған сақиналар, TAC жабылған сақиналар, т.ғ.д. бұрандалы сақиналар, жарты нүктеден бөлшектер және т.б., тазалық 5ppm-тан төмен.

Ветек Жартылай өткізгішті кесудің заманауи технологиялары мен жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін өнімді әзірлеу шешімдерін дамытуға бағытталған.Қытайда ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.