TAC жабыны қосалқы бөлікті

Ол жартылай өткізгішTAC жабыныбұл арнайы материал көп қолданыладыжартылай өткізгішӨндіріс процесі. Жоғары қаттылығымен және тозуға төзімділігімен, жоғары температураға төзімділігімен, коррозияға төзімділігі, төмен үйкеліс коэффициенті және жақсы жылу өткізгіштігі, TAC жабыны табақшасы жартылай өткізгіштерді өңдеудің көптеген байланыстарында алмастырылмайтын рөл атқарады.

Жалпы, өтініштеріTAC қапталған нөмірлерЖартылай өткізгішті өңдеу келесідей:

● CVD / ALD өсу субстраты: Температураның жоғары төзімділігі, химиялық тұрақтылық және TAC қапталған тақтайшаларының төмендегідей төмен коэффициенті оларды күрделі CVD / ALD өсіру субстраттарын жасайды. Бұл фильмнің біркелкілігі мен тығыздығын қамтамасыз ету үшін тұрақты өсу жағдайын қамтамасыз ете алады.

●  Маска тақтайшасын салыңыз: TAC қапталған тақтайшаларының жоғары қаттылығы мен коррозияға төзімділігі оларға плазмалық майлау сияқты жоғары энергия процестеріне төтеп беруге мүмкіндік береді, мысалы, маска плазмалары, мысалы, негізгі пленканы қорғайды.

●  CMP жылтыратқыш жастықшасы: ТАК жабынының тозуға төзімділігі және төмен үйкеліс коэффициенті оларды CMP жылтырату төсемдеріне арналған тамаша материалдар жасайды, бұл пленканың бетіне бөлшектер мен ақауларды тиімді кетіреді.

●  Жоғары температура пешінің түтігі: TAC қапталған тақтайшалардың жоғары температураға төзімділігі мен коррозияға төзімділігі оларға жоғары температуралы пештердегі пеш түтіктері ретінде қолдануға мүмкіндік береді, бұл жоғары температуралы пештерде, диффузия және басқа процестер үшін жоғары температура пештерінде қолдануға мүмкіндік береді.

CVD TAC жабыны Техникалық параметрлері：

Ветек жартылай өткізгіш TAC жабыны Аралық бөлшектер Дүкендер：