CVD CIC туралы қанша білесіз? - Ветек жартылайдюсторы

CVDSIC(Химиялық будың тұндыруы кремний карбиді) - бұл химиялық будың тұндыру арқылы шығарылған жоғары сапалы кремний карбиді материалы. Ол негізінен жартылай өткізгіш қондырғылардағы түрлі компоненттер мен жабындар үшін қолданылады. CVDSic материалыТамаша жылу тұрақтылығы, жоғары қаттылық, термиялық кеңейту коэффициенті және өте жақсы химиялық коррозияға қарсы тұрақтылық, оны төтенше процесс жағдайында қолдануға тамаша материал жасайды.

CVDSIC материалы жоғары температураға, жоғары коррозиялық ортаға және жоғары механикалық күйзеліске қосылатын компоненттерде кеңінен қолданылады.

CVDSICБөліктернегізінен келесі өнімдерді қосқанда

● CVDSIC жабыны

Ол субстраттың жоғары температурадан, химиялық коррозиядан және механикалық тозудан зақымдалуын болдырмас үшін жартылай өткізгіш технологиялық жабдықтар үшін қорғаныс қабаты ретінде қолданылады.

● СИК вафли қайығы

Вафлилерді вафлиді жоғары температуралы процестерде (мысалы, диффузиялық және эпитаксиальды өсуі) тасымалдау және тасымалдау үшін қолданылады, бұл вафлидің тұрақтылығын және процестердің біркелкілігін қамтамасыз ету үшін.

● SIC технологиялық түтігі

SIC технологиялық түтіктері негізінен диффузиялық пештер мен тотығу пештерінде кремнийді вафли үшін бақыланатын орталықпен қамтамасыз етіледі, допингтің нақты доптарын және біркелкі допингтерді қамтамасыз етеді.

● Sic Cantilevere

SIC Cantilever Peable негізінен кремнийді вафлиді диффузиялық пештерде және тотығу пештерінде тасымалдау немесе қолдау үшін пайдаланылады, бұл подшипниктер рөлін ойнайды. Әсіресе, диффузия, тотығу, тазарту және т.б. сияқты жоғары температуралық процестерде, ол экстремалды ортада кремний вафлидерінің тұрақтылығы мен біркелкі қарым-қатынасын қамтамасыз етеді.

● CVDSIC душының бастары

Ол плазмалық жабдықтардағы газ тарату компоненті ретінде қолданылады, бұл газдың бірыңғай лентаны және эффектінің күшін қамтамасыз ету үшін тамаша коррозияға төзімділігі мен жылу тұрақтылығы бар.

● SIC жабынды төбесі

Жабдықты реакция камерасындағы компоненттер, жабдықты жоғары температурадан және коррозиялық газдардан қорғау және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту үшін қолданылады.

● Silicon Epitaxy Succeptors

Вафлиді жылыту және вафлидің сапасын қамтамасыз ету үшін силиконның эпитаксиалды өсу процестерінде қолданылатын вафли тасымалдаушылар.

Cillined кремний карбидін (CVD-CIC) қалпына келтірілген кремсюрлік карбидке (CIT) жартылай өткізгіштерді өңдеудегі кең спектрі бар, негізінен жоғары температура, коррозия және жоғары қаттылыққа төзімді құрылғылар мен компоненттерді шығару. 

CVDSICНегізгі рөл келесі аспектілерде көрінеді

✔ Жоғары температуралы ортадағы қорғаныс жабындары

Қызмет ету: CVD SIC көбінесе жартылай өткізгіш жабдықтардағы негізгі компоненттердің беттік жабындары үшін қолданылады (мысалы, скучерлер, реакция камералары және т.б.). Бұл компоненттер жоғары температуралы ортада жұмыс істеуі керек, ал CVD-ді SIC жабындары субстратты жоғары температуралы зақымданудан қорғау үшін керемет жылу тұрақтылығын қамтамасыз ете алады.

Артықшылықтары: Жоғары балқу және CVD SIC тамаша термиялық өткізгіштігі Компоненттердің жоғары температуралы жағдай бойынша ұзақ уақыт жұмыс істейтініне, жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартуды қамтамасыз етіңіз.

✔ Коррозияға қарсы қосымшалар

Қызмет ету: Жартылай өткізгішті өндіру процесінде CVD SIC жабыны коррозиялық газдар мен химиялық заттардың эрозиясына және жабдықтар мен құрылғылардың тұтастығын қорғауға көмектеседі. Бұл әсіресе фторидтер мен хлоридтер сияқты жоғары коррозиялық газдарды өңдеу үшін өте маңызды.

Артықшылықтары: CVD CIC жабынын компоненттің бетіне сақтау арқылы коррозиядан туындаған жабдықтың зақымдануы мен техникалық қызмет көрсету шығындары едәуір қысқаруы мүмкін, ал өндірістің тиімділігін арттыруға болады.

✔ Жоғары беріктігі және тозуға төзімді қосымшалар

Қызмет ету: CVD-дің материалы оның жоғары қаттылығымен және жоғары механикалық беріктігімен танымал. Ол жартылай өткізгіш құрамдастарда кеңінен қолданылады, олар тозуға төзімді және жоғары дәлдікте, мысалы, механикалық тығыздағыштар, жүк көтергіш компоненттер және т.б. Бұл компоненттер жұмыс кезінде берік механикалық кернеу мен үйкеліске ұшырайды. CVD SIC осы күйзелістерге және құрылғының ұзақ мерзімді және тұрақты жұмысын қамтамасыз етуі мүмкін.

Артықшылықтары: CVD дискісінен жасалған компоненттер экстремалды ортада механикалық кернеуді ғана шектей алмайды, сонымен қатар ұзақ мерзімді қолданғаннан кейін олардың өлшемді тұрақтылығы мен бетінен тұрақтылықты сақтай алмайды.

Сонымен қатар, CVD SIC маңызды рөл атқарадыЭпитаксиалды өсуді басқарды, қуат жартылай өткізгіштері және басқа да өрістер. Жартылай өткізгішті өндіріс процесінде CVD SIC субстраттары әдетте пайдаланыладыЭпи сезімтеттері. Олардың керемет термиялық өткізгіштігі және химиялық тұрақтылығы өсірілген эпитаксиальды қабаттардың сапасы мен консистенциясына ие. Сонымен қатар, CVD CIC сонымен қатар кеңінен қолданыладыPSS тасымалдаушыларды алу, RTP вафли тасымалдаушылары, ICP тасымалдаушыларды алуҚұрылғының жұмысын қамтамасыз ету үшін жартылай өткізгіш кезінде тұрақты және сенімді қолдау көрсету.

Vetek Semicondudor Technology Co., Ltd - жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған кеңейтілген жабын материалдарының жетекші жеткізушісі. Біздің компания саланың дамушы шешімдеріне назар аударады.

Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD кремний карбиді (SIC) жабындары, циктикалық, сикт-графиттер, және жоғары тазалық, графитті графкепторлық, кесектер, кесек бөлшектер, кескіш бөлшектер, кескіш бөлшектер және т.б., тазалық 5pm-ден төмен, кескіш сақиналар.

Ветек Жартылай өткізгішті кесудің заманауи технологиялары мен жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін өнімді әзірлеу шешімдерін дамытуға бағытталған.Қытайда ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.