4 дюймдік оқшаулау қатаң киіз, дене

Кәсіби жоғары сапалы 4 дюймдік оқшаулау ретінде 4 дюймдік оқшаулау - дене өндірушісі, сіз 4 дюймдік оқшауланған киізден жасалған киізден бастап, Vetek жартылай өткізгіштер зауытынан.

Оқшаулаудың қатаң сезімі, бұл жоғары температуралы экстремалды орта үшін арнайы жасалған композициялық, көміртек талшығының және көміртекті матаның ламинативті процедураларын қолдану, жоғары температуралы көміртектендіру / графитті тазарту технологиясы, ультра жоғары тазалық (күл .10pmm), тамаша термиялық тұрақтылық және механикалық беріктікке ие. Материал кремний карбидіндегі жылу оқшаулау жүйелерінде (SIC) бірыңғай кристалды өсіп келе жатқан пештерде, бұл термиялық өрістің біркелкілігіне, температуралық градиентті және физикалық бу беру әдісінің (PVT) қажетті талаптарын қанағаттандыру үшін қолданылады.

Материалдық және технологиялық сипаттамалары

Композиттік құрылымn

Жер үсті көміртекті шүберекті арматуралау: арнайы процесс арқылы көміртегі талшықтарына және тығыздығы жоғары көміртекті матадан жасалған композицияға, беткейдің тығыз қорғаныс қабатын қалыптастыру, температуралық ауа жуу мен талшықты төгу, қоспалардың шығарылуын азайтады.

Бірнеше қабатты интеграциялау процесі: ядро ​​қабаты - көміртегі талшықтары, ал графит қағазы немесе көміртек матасы ортасына енген. Жоғары температуралы тазартудан кейін (≥2000 ℃), материалдық құрылымға бөлініп, қоспалар терең алынып тасталады.

Ультра төмен қоспалар тазалығы

Күл құрамы

Процесті бейімделу

Вакуумға немесе инертті газға (AR, N₂) қоршаған орта, жұмыс температурасы 1200 ° C-тан 3000 ° C-қа дейін жабылатын, графит фольга жабыны сияқты, антиоксидантты жабындар сияқты).

Негізгі өнімділік параметрі

Өтініш өрістері және артықшылықтары

Кремний карбидінің жалғыз кристалды пештері ыстық өріс оқшаулау

Пеш оқшаулау қабатының негізгі материалы ретінде ол жылу шығынын азайтып, өсу интерфейсінің температурасы градиентін (δT≈20-50 ℃ / см) сақтап, кристалдардың осьтік / радиалды өсу қарқыны теңестірілгеніне көз жеткізіңіз.

Жұмсақ киізден жасалған, градиентті оқшаулау құрылымын қалыптастыру, жылу кернеуін азайтып, жылу өрісінің қызмет ету мерзімін ұзарту.

Бәсекелік артықшылығы

Жылу тұрақтылығы: жылу кеңеюінің төмен коэффициенті (CTE <2 × 10⁻⁶ / ℃), керемет жылу соққыларының, қайта өсіру және салқындату үшін қолайлы.

Экономика: дәстүрлі жұмсақ киізмен салыстырғанда, қызмет мерзімі 3-5 есе, ыстық далалық ауыстыру және өндіріс шығындарының жиілігін төмендетеді.

Теңшеу: цилиндр, пластиналар және өңдеудің басқа түрлерін, өлшемді дәлдікті, өлшемді дәлдікті ± 0,5 мм-ге дейін, әртүрлі пештің дизайнына сәйкес келеді.

Әдеттегі өтініштер

Вакуумды газдың жоғары қысымды тазартатын пеш: жылу қалқаны ретінде қуат тұтынуды 20% -дан асады

Ірі мөлшері SIC Crystal өсуі: 8 дюймдік кристалды пештер, жылу даласы үшін біркелкіліктің ауытқуы <1,5%