Aixtron G10 Solid SiC планеталық реакторының компоненттері

1. Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

• Тозуға және коррозияға төзімділікке арналған толық тығыз, байланыстырғышсыз Solid SiC құрылымы

• 1500 °C жоғары температурада тамаша жылу өткізгіштік және термиялық соққыға төзімділік

• Ластану қаупін барынша азайтатын ультра төмен бөлшектердің пайда болуы және жоғары тазалық

• SiC эпитаксисінде қолданылатын технологиялық газдарға қарсы керемет химиялық инерттілік

• Қайталанатын жоғары температура кезінде ұзақ қызмет ету мерзімі

• Сенімді орнату және процестің тұрақтылығы үшін дәлдікпен өңделген және қатаң өлшемдік рұқсат

 2. Типтік қолданбалар

Бұл Solid SiC керек-жарақтары Aixtron G10 реакторының негізгі функционалды аймақтарында қолданылады, соның ішінде:

• Қақпақ тақталары мен таңдалған қақпақ элементтері

• Қорғау сақиналары мен тозуы жоғары компоненттер

• Дәлдік түйреуіштер, шайбалар және шағын құрылымдық бөлшектер

• Қарқынды газ ағынына немесе термиялық жүктемеге ұшыраған басқа тапсырыс бойынша жоғары таза кірістірулер

Олар қуатты MOSFETs, диодтар және соған байланысты кең диапазонды құрылғылар үшін жоғары көлемді SiC эпитаксиалды өсу кезінде тұрақты температураны бөлуді, біркелкі газ беруді және ақаулардың төмен тығыздығын қолдайды.

3. Aixtron G10 үшін неге VeTek Solid SiC таңдау керек?

Жартылай өткізгіш материалдардың мамандандырылған өндірушісі ретінде VeTek Semiconductor мыналарды қамтамасыз етеді:

• Aixtron G10 жүйелеріне арналған жоғары таза қатты SiC компоненттері, мысалы: Қақпақ сақинасы, Ішкі/сыртқы қақпақтар, төмен қарай тартылатын/тірек тақтасы, Спутниктік диск, қабылдағыш

• Тазалықты қатаң бақылау және CNC өңдеу дәлдігі

• Термиялық өрісті толық жабуға арналған CVD SiC қапталған графит және TaC жабыны бар бөлшектерді қоса, қосымша шешімдер

• Арнайы технологиялық жағдайларға және реактор конфигурацияларына сәйкес келетін таңдамалы конструкциялар

Біздің Solid SiC керек-жарақтарымыз тұтынушыларға Aixtron G10 платформасының өнімділік артықшылықтарын барынша арттыруға көмектеседі — пластинаның жоғары өнімділігі, тамаша қалыңдық және қоспалау біркелкілігі және иеленудің бәсекеге қабілетті құны — сонымен бірге құрамдас бөліктердің қызмет ету мерзімін ұзартады және бөлшектерге байланысты өнімділік жоғалуын азайтады.