CVD SIC жабыны думия вафли

Veteksemi CVD-дің домми вафлидің өнімдерінің ерекшеліктері:

● Жоғары температуралы газға төзімділік: SIC Dummy вафлиі төтенше жағдайларда қолдануға жарамды жоғары температуралы газ эрозиясына өте жақсы қарсылыққа ие. Бұл серпімділік те талап ететін ортада да дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді.

● ұзақ мерзімді құрылымдық тұтастық: CVD SIC жабыны домми вафли ұзақ уақыт бойы иілу және деформацияға қарсы тұруға арналған. Олардың беріктігі олардың бірнеше рет ауыстыру қажеттілігін төмендетуді қамтамасыз етеді.

● Бөлшектерсіз беті: SIC Dummy Wafers-те тазартатын қарапайым бет бар, бұл бөлшектердің мәселелерін азайтады, бұл ластанудың еркін қоршаған ортаны сақтау үшін өте маңызды. Бұл мүмкіндік сапалы нәтижелерге қолдайды және ақаулар қаупін азайтады.

● Химиялық тұрақтылық: SIC жабылған думия вафлиінің химиялық тұрақтылығы оның деградациясыз әр түрлі коррозиялық заттарға төтеп беруге мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндік химиялық әсер ету кезінде вафлидің тұтастығын сақтау үшін өте маңызды.

CVD-дің жабылған домми вафлиді пайдалануы:

● жан-жақты тестілеу және эксперимент: SIC жабылған думия вафаландары жартылай өткізгіш өндірісінің барлық кезеңдерінде, қауіпсіз және сенімді тестілеу мен эксперимент жүргізудің барлық кезеңдерінде өте маңызды. Олар өндіріс процесінің басында, барлық параметрлер құнды өндірістік вафли қолданар алдында оңтайлы екенін қамтамасыз ете отырып.

● Диффузия кезінде қорғаныс: Диффузиялық процесс кезінде, димми вафли стандартты кремнийдің вафлилерін қорғау арқылы маңызды рөл атқарады. Бұл қорғаныс функциясы зақым мен ластанудың алдын алады, осылайша түпнұсқа вафлидің тұтастығы мен сапасын сақтайды.

● Өлшеу дәлдігі: Бұл вафли мұқият кино, қысымға төзімділікті және рефлексиялық индексті өлшеу үшін қолданылады. Сондай-ақ, олар пинболдың болуын анықтауға және литографиядағы үлгінің өлшемдерін бағалауға көмектеседі, бұл процесті дәлдік пен ақауларды азайту үшін айтарлықтай үлес қосады.

Шын мәнінде, Ветек жартылайдюсторы теңшелген өнім қызметтерін қолдайды және әрбір CVD-де SIC жабыны думиясының думязиялық вафлиіне тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес әрбір CVD-де сериялауды қамтамасыз ете алады, бұл тапсырыс берушінің мөлшері мен қалыңдығы үшін. Custom Laser Exraving Қосымша Тазалық пен сенімділіктің жоғары дәрежесін қамтамасыз ететін ластану қаупін жояды.

CVD-дің SIC жабынының SEM деректері: