Кремний кассета қайығы

Ветексемикон ұсынған кремний кассета қайығы заманауи жылу, механикалық және ластануға арналған, заманауи жартылай өткізгіш вафлидің қажеттіліктері үшін жасалған. Ультра жоғары тазалық монокристалды немесе полисиликоннан өндірілген және тазалыққа жетекшілік ететін стандарттарға өңделген, кремний кассета қайығы, вафлиді тотығу, диффузия, тазарту және басқа пешке негізделген термиялық циклдар ретінде жұмыс істейді. Оның ішкі материалдық қасиеттері - кремний вафкестерімен, жартылай кеңею, және металл қоспасының өте төмен кеңеюі, сондай-ақ металл қоспасы концентрациясы, бөлшектердің пайда болуын және жылу күйзелісін азайтуға мүмкіндік береді, бұл қосалқы және жетілдірілген түйін өндірісі үшін біртектілік пен қайталануды қамтамасыз етеді.

Тік және көлденең пеханалар аясында кремний кассета қайығы дәйекті жылу беруге және тұрақты газдың біркелкі газын және біркелкі газдың біркелкі механикалық қолдауын қамтамасыз етеді. Кварцпен немесе керамикалық тасымалдаушылармен байланысты айқасқа қатысты өзара әрекеттесуді жою арқылы, ол ұзақ температуралы суландыру кезінде вафли беттерін ластанудан қорғауға көмектеседі, тіпті жоғары температурада, тіпті температура 1200 ° C-қа жақындағанда да. Тасымалдаушы мен субстрат арасындағы бұл материалды туралау сонымен қатар слиптерді, микро-жарықтарды және ысырапты азайтады, қайықта қалың оксидті өсу, жоғары температуралы имплантациялау, жоғары температуралы имплантациялау және эпитаксиалды өңдеу.

Автоматтандырылған тиеу жүйелерімен, өңдеудің автоматтандырылған жүйелерімен және роботты вафлимен жұмыс істеуге арналған, ветексемиконның кассетасы 200 мм және 300 мм-ге тең интеграциялауға арналған және EEM-дің жиектеріне сәйкес келеді. Оның жоғары өлшемді дәлдігі, ойыншықтардың геометриясы оңтайландырылған және бетті озық безендірудің алдыңғы қатарлы біркелкілігіне, ақаулыққа, ақаудандырылды және технологиялық өнімділік пен жабдық жұмыс уақытын тікелей жақсартады.

Ветексемиконның материалдары ғылыми сараптамасы және қатаң сапа менеджменті, Кремний кассета қайық бірнеше жылу циклдері бойынша тұрақты өнімділік, бөлшектердің төгілуі, мысалы, жиектің төмендеуі және инертті атмосфераны талап ететін болжамды мінез-құлық. Жақсартылған ластануды, болжамды жылу профильдерін, алдағы жылу профильдерін және келесі буын қондырғыларын өндіруді қажет ететін, Кремний-кассета қайық технологиялық сенімділікті арттырады, вафлидің біркелкілігін арттырады және жоғары көлемді жартылай өткізгіш өндіріске мүмкіндік береді.