Диффузиялық пешке арналған кварц пешінің түтігі

1. Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

• Өте жоғары тазалықтағы дегидроксилденген балқытылған кварц (SiO₂ ≥ 99,999%) металл қоспалары ppb деңгейінде бақыланатын және гидроксил мөлшері өте төмен

• 1100 °C дейін ұзақ мерзімді жұмыс температурасы; 1200 °C дейін қысқа мерзімді ең жоғары төзімділік

• Толық күйзеліске қарсы жасытудан кейін тамаша термиялық соққыға төзімділік—температураның жылдам өзгеруі кезінде крекингке төзімділік

• Тотықтырғыш, тотықсыздандырғыш және құрамында галоген бар технологиялық газдарға қарсы тамаша химиялық инерттілігі; плазмалық және коррозиялық атмосфераға жарамды

• Өте төмен вакуумды газ шығару; тегіс ішкі қабырға жанама өнімнің жиналуын азайтады және процестің қайталануын қолдайды

• Сенімді нығыздау үшін біркелкі қабырға қалыңдығы, жоғары коаксиалдылығы және дәлдікпен өңделген ұштары бар бір бөлікті қалыптау

• Реттелетін құрылымдар: түзу түтіктер, редуктор түтіктері, фланецті түтіктер, ұзартылған ұзындықтар және тік немесе көлденең пештерге арналған арнайы конфигурациялар

2. Типтік қолданбалар

VeTek кварц пешінің түтіктері негізгі реакциялық камера ретінде кеңінен қолданылады:

• Термиялық тотығу пештері (құрғақ/ылғалды тотығу)

• Қоспаны енгізуге арналған диффузиялық пештер (B, P, As, т.б.)

• Жұқа қабықшаны тұндыруға арналған LPCVD жүйелері

• Вакуумды жасыту және басқа да жоғары температуралық термиялық өңдеу процестері

• 4 дюймдік, 6 дюймдік, 8 дюймдік және 12 дюймдік вафельді платформалармен (Si, SiC, GaN, сапфир субстраттары) үйлесімді

Олар логиканы, жадты, қуат құрылғысын, MCU, LED, MEMS және тұрақты температураның біркелкілігін, газ ағынын басқаруды және өте таза технологиялық орталарды қажет ететін кең жолақты жартылай өткізгіштерді өндіру желілерін қолдайды.

3. Негізгі техникалық параметрлер

• Материал: жартылай өткізгіштегі дегидроксилденген балқытылған кварц (SiO₂ ≥ 99,999%), гидроксил аз, металл қоспалары аз

• Вафли үйлесімділігі: 4/6/8/12 дюйм

• Ұзақ жұмыс температурасы: −20 °C - 1100 °C; қысқа мерзімді шыңы 1200 ° C дейін

• Процесс: бір бөліктен термиялық қалыптау, қабырғаларды гомогенизациялау, соңғы өңдеу, кернеуді жеңілдететін күйдіру, гелийдің ағып кетуін сынау, өте таза тазалау

• Қолжетімді құрылымдар: түзу түтік, редуктор түтігі, фланецті түтік, ұзартылған / реттелетін ұзындық, арнайы конфигурациялар

• Теңшеу: ішкі/сыртқы диаметрі, ұзындығы, қабырғасының қалыңдығы, фланец сипаттамалары және тұтынушы сызбалары үшін арнайы геометриялар

4. Неліктен VeTek кварц пешінің түтіктерін таңдау керек?

Жартылай өткізгіш кварц компоненттерінің кәсіби өндірушісі ретінде VeTek Semiconductor мыналарды ұсынады:

• Тотығу, диффузия, LPCVD және күйдіру жабдықтары үшін жасалған жоғары таза кварц пешінің түтіктері

• 10-сынып / 100-сыныптағы таза бөлме өндірісіне жарамды тазалықты қатаң бақылау, өлшемдік дәлдік және тазалық

• Тік және көлденең құбырлы пештерге арналған толық теңшеу және OEM-үйлесімді конструкциялар

• Қосымша жартылай өткізгіш кварц өнімдері, соның ішінде вафельді қайықтар, тигельдер, төсемдер және басқа технологиялық компоненттер

Біздің кварц пештерінің түтіктері тұрақты жылу және газ ағыны жағдайларын сақтауға, бөлшектер мен металдардың ластануын азайтуға және үздіксіз жоғары температура циклі кезінде қызмет ету мерзімін ұзартуға көмектеседі, бұл жартылай өткізгішті термиялық өңдеуде жоғары өнімділік пен меншік құнын төмендетуге көмектеседі.